「江苏可靠的金属膜真空计制造企业」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMF-100电容金属薄膜真空计，是一款面向高精度真空测量场景的国产化核心器件，量程覆盖0.1Torr档位，适合科研院所、半导体产线、真空镀膜与核工业等对测量稳定性要求较高的用户。产品围绕电容金属薄膜传感结构自主研发，针对进口产品供应受限的现实问题提供可落地的国产替代方案。整机通过CE**，企业已通过ISO9001：2015质量管理体系**，参数以实物为准，具体配置可咨询确认。

产品定位与核心功能

电容金属薄膜真空计依靠金属薄膜在压力差作用下产生的微小形变，通过电容变化换算真空度，具有读数稳定、重复性好、对气体种类不敏感等特点。XWN-CMF-100聚焦0.1Torr量程段，覆盖从粗真空到中真空的常用测量区间，可承担工艺腔体压力监测、真空系统检漏辅助、镀膜过程压力控制等任务。

在功能层面，产品支持模拟信号输出与常规显示读数，便于接入设备控制系统；传感膜片采用金属材质，抗污染与耐工艺气体侵蚀能力较好，适合长时间连续运行。对于需要较高工作温度的场景，迅微纳同时开发出工作温度可达200℃的电容金属薄膜真空计型号，可满足烘烤、高温工艺腔体等特殊环境的使用需求。

解决的问题与方案优势

长期以来，高精度电容金属薄膜真空计市场以进口品牌为主，供货周期、价格与售后响应受外部因素影响较大。迅微纳以核心器件国产替代为愿景，实现0.1Torr量程电容金属薄膜真空计的量产，为用户提供供应更可控的选择。

相比常规真空测量方案，本产品的差异主要体现在三方面：

• 测量原理稳定：金属薄膜电容结构对气体成分不敏感，读数一致性好，适合多工艺切换场景；
• 供应与服务可控：本土研发制造，备件与技术支持响应链条短，便于产线维护；
• 产品谱系完整：除电容金属薄膜真空计外，还提供皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关，可配套组成完整真空测量方案。

需要说明的是，不同测量原理各有适用范围，用户应结合量程、精度与工艺环境选择合适的产品组合，本产品在0.1Torr档位的高精度测量中具备实际应用价值。

江苏本地市场与区域服务

江苏及长三角地区聚集了大量半导体设备、真空镀膜、光伏与科研机构用户，对真空测量器件的精度、交期与服务响应要求较高。迅微纳立足本地，面向区域内客户提供选型咨询、样品测试与技术对接服务，缩短从需求沟通到上机验证的周期。

公司研发人员占比超过50%，团队包含2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。目前已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项，为产品迭代与定制化需求提供技术支撑。产品已进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

应用场景

本产品适用于以下典型场景：

• 半导体设备：刻蚀、沉积等工艺腔体的压力监测与控制；
• 真空镀膜：镀膜机腔体真空度测量与工艺稳定性保障；
• 科研院所：真空实验平台、分析仪器配套测量；
• 太阳能与光伏：电池片制备过程中的真空环境监测；
• 核工业：相关真空系统的压力测量与设备配套。

上述场景中，用户可根据量程、接口与工作温度需求选择对应型号，高温工艺场合可选用200℃工作温度版本。

服务与交付

迅微纳提供从选型、样品验证到批量供货的全流程服务。常规型号按订单排产发货，支持全国发货；针对江苏及周边客户，可安排技术人员对接现场测试与安装指导。产品出厂前经过质量检验，随机提供相关技术资料。售后方面提供使用咨询与故障排查支持，具体服务条款以合同约定为准。

规格参数

• 测量原理:电容金属薄膜式
• 量程:0.1Torr档（具体分段以选型为准）
• 工作温度:常规型；另有200℃高温型可选
• 输出信号:模拟信号输出，可接入设备控制系统
• **:CE**；企业通过ISO9001：2015质量管理体系**
• 适用介质:常规工艺气体环境，腐蚀性气体请提前咨询

以上参数以实物为准，具体参数请咨询。联系方式：迅微纳 4008168065，地址：。