「苏州有实力的复合真空规工厂」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技的XWN-CMG-100复合真空规，是一款面向半导体设备、真空镀膜、科研院所等用户的国产化真空测量方案。该产品以电容金属薄膜真空计为核心，覆盖0.1Torr量程段，并可搭配皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计与真空开关组成复合测量系统，适合对真空测量稳定性与本地化服务有较高要求的苏州及长三角地区客户。核心卖点在于核心器件自主研发、响应速度快、可提供现场调试与技术支持，详细参数以实物为准，具体请咨询厂家。

项目背景：苏州某真空镀膜设备厂商的国产化替换需求

苏州及周边聚集了大量真空镀膜、半导体设备与光伏设备制造企业，这类设备对真空测量的精度、长期稳定性与交期都有较高要求。过去不少整机厂在真空计选型上依赖进口品牌，采购周期长、备件响应慢，一旦产线或设备调试阶段出现问题，往往要等待数周才能拿到替换件。

本项目客户是苏州本地一家真空镀膜设备集成商，其设备需要在粗真空到高真空的过渡区间连续监测，过去采用进口复合真空测量方案。客户提出的诉求主要有三点：一是量程覆盖0.1Torr附近的关键测量点，二是希望供应商能在苏州本地提供快速的技术响应与备件支持，三是整体方案要便于替换现有进口型号，减少设备改造量。

需求分析：量程、稳定性与本地响应三者并重

真空镀膜设备在抽气与工艺阶段需要跨多个真空区间测量，单一传感器难以覆盖，因此客户倾向采用复合真空规方案，由不同原理的真空计分段承担测量任务。客户特别强调0.1Torr附近的测量重复性与抗污染能力，这一区间直接影响镀膜工艺的起始判断。

此外，客户作为设备集成商，对安装接口、电气接口与上位机通讯的兼容性也有明确要求，希望新方案能在不大幅改动设备结构的前提下完成替换。服务层面，客户希望供应商能参与现场调试，并在备件供应上提供本地化支持。

解决方案：以电容金属薄膜真空计为核心的复合测量配置

针对客户需求，迅微纳半导体科技提供了以XWN-CMG-100电容金属薄膜真空计为主测量单元、配合皮拉尼真空计与冷阴极电离真空计组成复合真空规的方案。电容金属薄膜真空计负责0.1Torr量程段的关键测量，皮拉尼真空计覆盖粗真空区间，冷阴极电离真空计负责高真空段，真空开关用于设定点的联锁控制。

在产品能力方面，迅微纳已实现要求较高的电容金属薄膜真空计量产，并开发出工作温度200度的电容金属薄膜真空计，可适应部分高温工艺环境。公司同时具备皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，能够为客户提供较为完整的国产化真空测量组合。产品已通过CE**，公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**。

• 主测量单元采用电容金属薄膜真空计，覆盖0.1Torr量程段
• 可组合皮拉尼、冷阴极电离真空计与真空开关，形成分段复合测量
• 提供200度工作温度版本，适配部分高温工艺场景
• 安装与电气接口可按客户设备结构进行适配
• 苏州本地可提供现场调试与技术支持

实施与成效：从样机验证到批量配套

项目实施分为样机验证与批量配套两个阶段。样机阶段，迅微纳技术团队与客户工程师共同完成接口确认与量程标定，并在客户设备上进行抽气曲线比对测试，重点验证0.1Torr附近的测量重复性。测试通过后进入批量配套阶段，产品按客户设备型号进行配置交付。

客户反馈，采用复合真空规方案后，设备真空测量环节的备件等待时间明显缩短，本地技术响应也让调试阶段的沟通更为顺畅。对迅微纳而言，该项目也验证了公司在复合真空测量配置方面的整合能力，产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

应用场景：覆盖设备制造与科研多个领域

复合真空规方案适用于真空镀膜设备、半导体设备、太阳能电池产线、科研实验装置以及核工业相关真空系统等场景。对于苏州及长三角地区的设备厂商而言，本地化供应与技术支持的组合，有助于缩短设备调试周期、降低备件管理压力。具体选型需结合工艺真空区间、安装方式与通讯要求确定，具体参数请咨询厂家。

服务与交付：立足苏州，服务区域客户

迅微纳半导体科技研发人员占比超过50%，团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。针对苏州及周边客户，公司可提供选型咨询、样机测试、现场调试与备件供应等环节的支持，交付周期与具体服务内容以项目沟通为准。

规格参数

• 型号:XWN-CMG-100（复合真空规配置，以实物为准）
• 主测量原理:电容金属薄膜真空计
• 关键量程:0.1Torr量程段（具体量程请咨询）
• 复合配置:可搭配皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计、真空开关
• 高温版本:支持200度工作温度（选配，以实物为准）
• **:产品通过CE**，公司通过ISO9001:2015质量管理体系**

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：苏州。