「江苏质量好的电容式真空计源头厂家」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技的电容式真空计（电容金属薄膜真空计）是一款面向高精度真空测量场景的国产核心器件，典型代表型号为 XWN-CMG-100，量程0.1Torr级别，并已开发出工作温度可达200℃的型号。产品适合科研院所、半导体、真空镀膜、太阳能、核工业等领域中需要稳定、可溯源真空测量的用户，核心卖点是自主设计制造、核心器件国产化、已实现量产并通过CE**与ISO9001:2015质量管理体系**。

产品是什么：电容金属薄膜真空计的工作原理与定位

电容式真空计以金属薄膜作为感压元件，薄膜两侧形成电容结构，气压变化使薄膜产生微小形变，进而转换为电容量变化并由电路解算为真空度读数。这类传感器在低真空到中真空区间具有较好的线性与稳定性，读数与气体种类关系较小，因此常用于需要重复性和一致性的测量场合。

迅微纳聚焦的正是这一品类中工艺要求较高的电容金属薄膜真空计，量程覆盖0.1Torr级别，属于行业内制造门槛较高的规格。公司以自主研发、制造和销售高性能真空计为主线，目标是解决此类核心器件长期依赖进口带来的供应风险，推动核心器件国产替代。

能解决什么问题：从“等货”到“可自主交付”

在实际使用中，用户遇到的往往不是“有没有真空计”，而是“关键量程段能不能稳定拿到货、能不能长期买到同规格备件”。以某真空镀膜设备集成场景为例，设备在出厂标定与客户验收环节需要同一型号真空计保持读数一致，若供应周期波动，会直接影响交付节奏。迅微纳将0.1Torr量程电容金属薄膜真空计实现量产，为设备厂商提供了可稳定排产的国产选择。

另一类真实需求来自高温工艺环境。常规真空计在较高温度下长期工作，零点漂移和膜片应力问题会更明显。迅微纳开发的工作温度200℃电容金属薄膜真空计，针对的正是烘烤、高温腔体等场景下的测量需求，让用户在高温工况下仍能获得相对稳定的真空读数，减少因传感器温漂带来的反复校准。

相比常规方案，其优势主要体现在三点：一是关键量程段实现自主量产，供货可控；二是产品线覆盖电容薄膜、皮拉尼、冷阴极电离和真空开关，便于用户在同一供应商体系内完成多类型真空测量的选型与配套；三是团队研发人员占比超过50%，具备针对特殊工况做定制开发的能力。

团队与研发：国产替代的底层支撑

迅微纳由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成创新团队，研发人员占比超50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项，围绕传感器结构、信号处理与标定方法形成了自主技术积累。

• 核心方向：电容金属薄膜真空计的自主研发与量产
• 产品谱系：电容薄膜真空计、皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计、真空开关
• 质量体系：已通过ISO9001:2015质量管理体系**
• 产品**：产品已通过CE**

应用场景：来自一线的使用画像

在半导体与真空镀膜设备中，真空计用于腔体本底真空监测、工艺过程压力控制与设备验收标定；在太阳能电池产线中，用于镀膜与扩散等工序的真空状态确认；在科研院所，用于实验装置的真空度记录与数据采集；在核工业与核聚变相关设备中，用于对真空环境进行持续监测。迅微纳产品已应用到上述领域，并进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

以一个设备厂商的配套场景为例：整机厂在选型时通常要求真空计与控制器接口匹配、量程段覆盖工艺区间、批次一致性可控。迅微纳可提供从传感器到真空开关的组合方案，减少多品牌混用带来的接口与标定差异，便于整机厂统一维护与备件管理。

服务与交付

迅微纳提供产品选型咨询、量程与接口确认、样品测试与批量交付等环节的支持。对于有特殊温度、接口或信号输出要求的项目，可结合团队研发能力进行评估与定制沟通。产品发货地为全国发货，具体交期与库存情况以实际沟通为准。本文所列参数为系列典型值，不同型号存在差异，以实物为准，具体参数请咨询。

规格参数

• 型号:XWN-CMG-100（系列代表型号）
• 测量原理:电容金属薄膜式
• 典型量程:0.1Torr级别（以具体型号为准）
• 工作温度:常规型与200℃高温型可选
• 输出信号:模拟电压/电流输出（按型号配置，具体请咨询）
• **情况:CE**、ISO9001:2015质量管理体系**

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：。