「江苏行业内0.1mTorr真空规厂商」-「迅微纳半导体科技」

本文以一个半导体镀膜产线的真空测量国产化替换项目为主线，介绍迅微纳半导体科技0.1mTorr级电容金属薄膜真空规（型号XWN-CMG-100M）在江苏某行业客户的实施过程与成效。该产品面向需要高精度、宽量程真空测量的半导体设备、真空镀膜与科研装置用户，核心卖点在于覆盖0.1mTorr量级的低真空段测量能力、金属薄膜电容传感结构带来的稳定性，以及原厂标定与售后支持构成的完整交付体系。以下从项目背景、技术方案、现场实施、应用场景与服务交付等方面展开说明。

项目背景：一线设备厂商的测量替换需求

客户为江苏地区一家半导体镀膜设备集成商，其腔体工艺需要在粗真空到中真空区间连续监测压力，测量下限要求达到0.1mTorr量级，原有方案长期依赖进口电容薄膜真空规。在实际运行中，客户遇到两方面问题：一是进口产品交期与备件供应不稳定，影响整机交付节奏；二是部分进口型号在低真空段零点漂移需要频繁复校，增加了维护工作量。客户希望在保持测量精度与接口兼容的前提下，引入可稳定供货的国产方案，并以整机小批量装机验证作为导入前提。

需求拆解：精度、量程与接口三项硬指标

项目组与客户工艺、电气工程师共同梳理出关键指标：测量下限需覆盖0.1mTorr附近，满量程精度满足工艺监控要求；输出信号与电气接口需与原有控制器兼容，减少改造成本；传感器需适应镀膜腔体附近的环境温度与洁净要求。此外，客户还关注标定溯源方式、批次一致性以及故障响应时效。上述需求被逐条转化为选型与验收清单，作为后续测试依据。

技术方案：电容金属薄膜传感与整机适配

针对该场景，迅微纳推荐XWN-CMG-100M电容金属薄膜真空规作为测量单元。该产品采用金属薄膜电容传感结构，在低真空段具有较好的零点稳定性，适合需要长期在线监测的工艺腔体。方案在整机层面做了三项适配工作：

• 电气接口按客户控制器规格配置，输出信号制式与原方案保持一致，减少整机改线；
• 针对腔体安装位置优化法兰与密封方案，确保安装后无额外漏率引入；
• 出厂前完成逐台标定并附标定记录，便于客户进行来料验收与追溯。

需要说明的是，具体量程配置、接口形式与法兰规格可根据设备结构定制，实际参数以实物为准，详细指标请咨询技术支持。

现场实施：从样机测试到小批量装机

实施分三个阶段推进。第一阶段提供样机，在客户实验腔体上与原有进口规进行并行比对，记录不同压力点下的读数偏差与零点漂移情况；第二阶段根据比对结果调整安装位置与滤波参数，完成与整机控制软件的联调；第三阶段进入小批量装机，随整机交付至终端产线运行观察。整个过程由迅微纳工程师与客户电气团队共同参与，测试数据与问题处理均形成书面记录。客户反馈显示，替换方案在联调阶段未出现接口兼容问题，后续维护频次较原方案有所下降，具体运行数据以客户现场记录为准。

应用场景与服务交付

该型号适用于半导体工艺设备、真空镀膜、科研实验装置以及需要低真空段精密测量的工业场景。迅微纳的产品线还包括皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等，可为客户提供多品类真空测量配套。公司产品已通过CE**，并通过ISO9001:2015质量管理体系**。服务方面，提供选型咨询、样机测试、标定记录随货、故障响应与备件支持，产品已进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

规格参数

• 测量原理:电容金属薄膜式
• 测量下限:0.1mTorr量级（以具体型号配置为准）
• 输出信号:模拟电压/电流可选，可按控制器规格配置
• 工作温度:常温型，另有200℃高温型可选
• 安装接口:标准真空法兰，可按腔体结构定制
• 标定:出厂逐台标定并附记录，具体参数请咨询

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：江苏省（详细地址请致电咨询）。