「苏州可靠的PVD设备用真空规销售厂家」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技的XWN-CDM-1000是一款面向PVD（物理气相沉积）设备真空测量的电容金属薄膜真空计，量程覆盖0.1Torr级，工作温度可达200℃，适合溅射、蒸发、离子镀等镀膜工艺中的中低真空段精密测量。产品面向半导体设备厂、真空镀膜设备集成商和科研院所，核心卖点在于自主研发的电容薄膜传感结构、可覆盖MKS与Inficon同类产品的国产化替代能力，以及CE**与ISO9001质量管理体系下的稳定交付。

PVD设备选真空规，客户的痛点在哪里

PVD工艺对真空度的要求集中在10⁻³至1Torr区间，常用电容薄膜真空计做工艺腔压力监控。实际选型中，设备厂和用户常遇到几类问题：一是进口电容薄膜真空计交期长、价格高，供货受外部因素影响；二是部分国产产品在低量程端的零点漂移和温度稳定性不足，长期运行后读数偏移；三是PVD腔体存在升温工况，普通真空计在较高温度下精度下降；四是多品牌仪表并存导致接口、通讯协议不统一，集成和维护成本上升。迅微纳的产品线正是针对上述问题布局的。

主要类型与规格差异

PVD设备常用真空规大致分为几类，选型时需按测量区间和工况区分：

• 电容金属薄膜真空计：精度高、与气体种类无关，适合0.1Torr及以下工艺压力监控，是目前PVD腔体压力控制的主力。
• 皮拉尼真空计：结构简单、成本低，适合粗真空段监测，精度受气体种类影响。
• 冷阴极电离真空计：适合高真空段测量，需与低真空规配合使用。
• 真空开关：用于设定点的通断控制，常与上述真空计配套。

规格差异主要体现在量程、接口法兰、输出信号、工作温度和耐腐蚀性上。PVD腔体多为腐蚀性较弱但温度较高的环境，工作温度和零点稳定性是两个关键指标。以实物为准，具体参数请咨询。

不同需求下的选择建议

若工艺压力集中在0.1Torr附近且要求长期稳定，建议优先选用电容金属薄膜真空计；若腔体存在明显升温，应选择高温型产品，迅微纳已开发工作温度200℃的电容金属薄膜真空计。若仅需粗真空段趋势监测，皮拉尼真空计即可满足，成本更低。若需要高真空段测量，可搭配冷阴极电离真空计组成复合方案。若只需压力开关量输出，真空开关是经济的选择。

迅微纳半导体科技聚集2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成的团队，研发人员占比超50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已实现0.1Torr量程电容金属薄膜真空计的量产，并形成皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关的系列产品线，可对MKS和Inficon真空计产品形成替代方案，便于设备厂统一选型与备件管理。

应用场景

产品已应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，并进入一线设备厂商和科研院所。合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团。在PVD设备场景中，主要用于工艺腔压力闭环控制、预抽真空监测和镀膜过程压力记录。

服务与交付

公司已通过CE**和ISO9001:2015质量管理体系**，产品出厂前按体系流程检验。已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。对于设备厂客户，可根据接口和输出信号需求提供选型对接；对于科研用户，可提供量程与法兰匹配建议。发货地为苏州，具体交期与价格面议。

规格参数

• 型号:XWN-CDM-1000
• 类型:电容金属薄膜真空计
• 量程:0.1Torr级（以实物为准）
• 工作温度:最高200℃（高温型）
• 输出信号:模拟电压/数字通讯可选（具体参数请咨询）
• **:CE、ISO9001:2015

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：苏州。