「苏州200度的真空规优质厂家」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技的 XWN-CMG200 是一款工作温度可达 200℃ 的电容金属薄膜真空计，面向半导体工艺、真空镀膜、核工业及科研装置中对高温环境真空测量有要求的用户。产品采用电容金属薄膜传感结构，量程覆盖 0.1Torr 至 1000Torr 常用区间，兼具高温稳定性与低漂移特性，可替代进口同类产品用于高温腔体真空监测。核心卖点在于耐高温、全量程段精度一致、核心器件自主设计与制造，适合需要在热工况下长期稳定测量的设备厂商与科研单位。

产品概述与功能定位

XWN-CMG200 属于电容金属薄膜真空计（Capacitance Manometer Gauge）中的高温型产品。其工作原理是通过金属薄膜感压元件在压力作用下产生微小形变，由电容变化量换算为真空度读数，属于直接测量**压力的全压式真空计。与常规常温型真空规相比，XWN-CMG200 的传感组件与电路经过高温适配设计，可在 200℃ 的工况下保持测量能力，适用于烘烤工艺、高温真空炉、镀膜腔体等存在热辐射或热传导的场景。

该产品定位为高温真空测量环节的核心器件，主要服务于对测量重复性、长期稳定性和国产供应有要求的用户群体。产品已通过 CE **，公司通过 ISO9001：2015 质量管理体系**，参数以实物为准，具体参数请咨询。

解决什么问题：高温真空测量的现实痛点

在半导体前道工艺、真空镀膜和部分核工业装置中，真空腔体在工艺过程中往往处于较高温度。常规电容薄膜真空计的工作温度一般限定在 50℃ 左右，若直接安装于高温腔体附近，容易出现零点漂移、膜片应力变化乃至传感器损坏，通常需要额外加装水冷或隔热结构，增加了系统复杂度和维护成本。XWN-CMG200 通过耐高温传感设计与温度补偿，可在 200℃ 环境下直接工作，减少外部冷却依赖，降低因热致误差导致的工艺参数波动。

另一类痛点是高温型真空规长期依赖进口，供货周期与售后响应存在不确定性。迅微纳围绕电容金属薄膜真空计开展自主研发与制造，致力于核心器件的国产替代，产品在供货稳定性与服务响应上具备本地化优势。

对比分析与选择标准

选择高温真空规时，建议从以下几个维度客观对比：

• 工作温度与热稳定性：常规常温型产品需外加水冷或热隔离，高温型产品可直接安装于热区附近，选型时应确认标称工作温度是否覆盖实际工况峰值。
• 量程与精度一致性：电容薄膜真空计的优势在于全量程线性度较好，选型时关注满量程精度与零点温漂指标，而非单一读数点精度。
• 传感结构与材质：金属薄膜感压元件的一致性直接影响长期稳定性，应关注膜片材质、封装工艺与介质兼容性。
• 供货与服务能力：进口产品在交期与备件响应上周期较长，国产厂商在本地化服务、定制化适配方面更具灵活性。
• 合规与体系**：CE **、ISO9001 体系可作为供应商基础管理能力的参考。

迅微纳的 XWN-CMG200 在上述维度中，以耐高温能力和本地化供应为主要特点，适合对高温工况测量有明确需求、同时希望降低进口依赖的用户。常规常温测量场景下，用户也可根据预算选择常温型电容薄膜真空计或其他类型真空计，按实际需求匹配即可。

应用场景

XWN-CMG200 可应用于以下场景：半导体薄膜沉积与刻蚀设备的真空腔体监测；真空镀膜设备的工艺压力控制；科研院所真空实验装置的高温段压力测量；核工业相关真空系统的压力监测；太阳能电池制造中的真空工艺环节。产品已进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

服务与交付

迅微纳提供从选型咨询、接口适配到售后支持的全流程服务。产品发货地为苏州，支持全国发货。公司研发人员占比超 50%，团队由博士、高级工程师、硕士及多名学士组成，可根据用户腔体接口、法兰规格与信号输出需求提供适配建议。产品已申请发明专利 6 项、实用新型 2 项、软件著作权 4 项，具备持续迭代与定制开发能力。

规格参数

• 型号:XWN-CMG200
• 工作温度:最高 200℃
• 量程范围:0.1Torr～1000Torr（常用段）
• 传感器类型:电容金属薄膜式
• 输出信号:0～10V / 4～20mA（可选）
• **:CE **，ISO9001：2015 体系

以上参数以实物为准，具体参数请咨询。联系方式：迅微纳 4008168065，地址：苏州。