「苏州耐用的半导体用真空计供应厂家」-「迅微纳半导体科技」

本文以迅微纳半导体科技为苏州某半导体薄膜沉积设备厂商配套电容金属薄膜真空计的项目为例，介绍半导体真空测量环节的选型背景、实施方案与运行成效。该型号面向0.1Torr级高精度压力测量需求，适合薄膜沉积、刻蚀、离子注入等半导体工艺设备及科研真空系统，核心特点是量程覆盖低压段、金属薄膜传感结构稳定、可长期在线运行，并提供本地化技术支持与备件响应。

项目背景：一线设备厂商的真空测量替换需求

该客户位于苏州，主营半导体薄膜沉积设备，其腔体压力控制直接关系到成膜均匀性与工艺重复性。此前设备中采用的进口电容金属薄膜真空计在供货周期和售后响应上存在不确定性，尤其在需要批量交付时，备件到位时间难以与整机装配节拍匹配。客户希望在保持测量精度与控制逻辑不变的前提下，引入可稳定供货的国产真空计，并完成与现有上位机、PLC及真空阀组的联调。

客户提出的要求较为具体：测量量程需覆盖0.1Torr附近的工艺工作点；传感器需适应腔体烘烤与清洗环节的温度波动；输出信号需与原有设备接口兼容；同时要求供应商具备持续供货能力和现场调试支持。

需求分析：精度、稳定性与交付节奏的三重约束

半导体工艺腔体的压力测量难点集中在低压段。0.1Torr附近信号微弱，对传感膜的平整度、封装应力与信号处理电路都提出较高要求。此外，设备在量产装配中需要真空计具备良好的一致性，避免逐台标定带来的产线节拍损失。客户还提出，希望供应商能够提供不同接口版本，以适配其多个机型平台。

• 量程与精度：覆盖0.1Torr工艺工作点，满足低压段稳定读数；
• 环境适应：可承受腔体烘烤与清洗过程中的温度变化；
• 接口兼容：模拟输出与通信接口可匹配现有控制方案；
• 供货保障：批量交付周期可控，备件与技术支持响应及时。

实施方案：XWN-CDM-100M的选型与联调

迅微纳技术团队在了解客户机型平台后，推荐采用XWN-CDM-100M电容金属薄膜真空计作为主测量器件。该产品为公司自主研发制造的电容金属薄膜真空计系列之一，公司已实现0.1Torr量程电容金属薄膜真空计的量产，并开发出工作温度200度的版本，可覆盖客户烘烤工况的使用需求。

实施过程分为三个阶段。第一阶段为样机选型与台架测试，双方在客户实验室对多台样机进行零点漂移、重复性与温度影响测试，确认读数与原有进口器件在工艺工作点附近保持一致。第二阶段为整机联调，技术团队配合客户完成与真空阀组、上位机控制逻辑的对接，并对多机型平台分别确认接口版本。第三阶段为小批量装机验证，在客户产线设备上连续运行并记录数据，评估长期稳定性。

在联调中，团队针对客户提出的信号响应节拍问题调整了滤波参数设置，使真空计读数与阀组动作的配合更顺畅。整个过程中，公司研发人员占比超过50%的团队结构为定制化调整提供了支撑，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号，团队中包含2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士。

项目成效：从单机验证到批量配套

经过台架测试与产线装机验证，XWN-CDM-100M在客户设备上实现了稳定运行，读数重复性满足工艺控制要求，烘烤工况下未出现明显漂移。客户随后将该型号纳入多个机型平台的配套清单，并逐步扩大装机比例。真空计的本地化供货使备件到位时间缩短，设备交付节奏更为可控。

该项目的推进也体现了迅微纳在核心器件国产替代方面的积累。公司以解决电容金属薄膜真空计相关供应受限问题、实现核心器件国产替代为愿景，除电容金属薄膜真空计外，还开发出皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可对MKS和Inficon相关真空计产品形成替代方案。目前已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，产品应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，并进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

应用场景

XWN-CDM-100M适用于半导体薄膜沉积、刻蚀、离子注入等工艺设备的腔体压力测量，也可用于真空镀膜设备、科研真空系统及需要低压段精确测量的工业场景。对于正在推进真空计国产化的设备厂商，可作为同类型进口器件的替代选项，具体选型需结合工艺量程、接口形式与安装方式确认。

服务与交付

迅微纳提供从选型咨询、样机测试到整机联调的技术支持，可根据客户机型平台提供不同接口版本。产品已通过CE**，公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**。批量订单的交货周期与备件安排可在合同阶段确认，售后响应由本地技术团队对接。联系方式：迅微纳 4008168065，地址：。

规格参数

• 型号:XWN-CDM-100M
• 类型:电容金属薄膜真空计
• 量程:0.1Torr级（以实物为准）
• 工作温度:常规版本与200度高温版本可选（具体参数请咨询）
• 输出接口:模拟输出及通信接口，可按机型平台配置（以实物为准）
• **:产品通过CE**，公司通过ISO9001：2015质量管理体系**