「江苏耐用的替代MKS的金属薄膜真空规品牌」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMG100电容金属薄膜真空计，是一款面向科研院所、半导体、真空镀膜、核工业等领域的国产化真空测量器件，用于替代MKS同类金属薄膜真空规。产品量程覆盖至0.1Torr，支持200℃工作温度版本，适合对测量精度与长期稳定性有要求的真空工艺环节。核心卖点在于国产自主供应、可长期使用的耐用设计，以及相对可控的采购与维护成本，帮助用户降低对进口器件的依赖。

项目背景：进口依赖带来的采购与维护压力

江苏一家从事真空镀膜设备集成的企业，其腔体压力监测长期采用MKS金属薄膜真空规。随着设备出货量增加，客户在备件采购周期、单台成本以及后续校准维护上遇到现实困难：进口规管交期偏长，备件价格较高，部分老型号的替换件供应也不够稳定。该企业希望在保证测量性能的前提下，寻找一款可在江苏本地快速响应、长期使用成本更低的替代方案。

经同行推荐，该企业联系到迅微纳半导体科技。迅微纳是一家致力于自主研发、制造和销售高性能真空计的创新公司，以解决电容金属薄膜真空计美国禁令带来的“卡脖子”问题、实现核心器件国产替代为愿景。公司已实现要求较高的电容金属薄膜真空计（量程0.1Torr）量产，并开发出工作温度200℃的电容金属薄膜真空计，同时具备皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品。

需求分析：耐用、可替换、总成本可控

项目组对替代方案提出三项核心要求：一是接口与电气规格需与原有系统兼容，减少设备改造工作量；二是规管在反复抽充、烘烤等工况下保持稳定，减少因漂移导致的停机和复校；三是综合采购价格、备件周期和维护费用，长期使用成本要有明显优势。

针对上述需求，迅微纳技术团队结合客户设备的真空范围、法兰接口和信号输出方式，推荐了XWN-CMG100电容金属薄膜真空计，并提供200℃高温版本供烘烤工位选用。该型号采用金属薄膜电容传感结构，零点和量程稳定性较好，适合需要长期在线监测的场合。

实施方案：样机验证到批量交付

项目按“样机测试—小批试用—批量替换”三步推进。首批样机在客户镀膜腔体上与原MKS规管并行安装，对比不同压力点的读数一致性，并记录连续运行下的零点漂移情况。测试期间，迅微纳提供选型说明、接线定义和校准建议，配合客户完成信号对接。

小批试用阶段，客户将规管用于多台设备的日常生产，重点观察反复烘烤和频繁抽充后的稳定性。结果显示，XWN-CMG100在客户常用工艺区间内读数稳定，安装尺寸与电气接口适配原有系统，替换过程无需大改设备结构。随后客户进入批量采购，并将部分备件库存转为国产型号。

• 样机阶段：提供选型支持与接线说明，配合完成并行对比测试
• 试用阶段：跟踪漂移与重复性，协助排查信号对接问题
• 交付阶段：按批次供货，提供校准与维护建议

项目成效：性价比与长期价值兼顾

替换完成后，该企业反馈的改善主要集中在三个方面。第一，采购周期缩短，备件可快速到位，设备交付节奏更可控；第二，单台规管及后续维护的综合成本下降，按年度用量测算，真空测量环节的支出有明显节省；第三，国产供应商响应及时，遇到选型或使用问题时沟通链条短，处理效率更高。

从长期价值看，XWN-CMG100的耐用设计和稳定输出减少了非计划停机和重复校准，设备运行连续性得到保障。客户已将迅微纳纳入真空计合格供应商名单，并在新机型设计中优先评估国产方案。迅微纳产品还应用于太阳能、半导体、科研院所、核工业等领域，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品已通过CE**，并已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项。

应用场景

XWN-CMG100适用于需要中低真空压力精确监测的场合，包括真空镀膜设备的腔体压力控制、半导体工艺设备的真空度监测、科研实验装置的真空测量，以及核工业相关真空系统的压力检测。对于有烘烤工艺的工位，可选配200℃工作温度版本。具体适配方案需结合真空范围、法兰接口和信号输出方式确认。

服务/交付

迅微纳提供从选型咨询、样机测试到批量交付的配套服务，可根据客户设备接口提供规格匹配建议，并协助完成安装调试中的技术对接。发货地为全国发货，具体交期与备件安排请咨询确认。产品参数以实物为准，具体参数请咨询。

规格参数

• 量程范围:0.1Torr（约13.3Pa）量级，具体分档以选型为准
• 传感器类型:电容金属薄膜式
• 工作温度:标准版常温，可选200℃高温版本
• 输出信号:模拟电压/电流输出，具体以选型配置为准
• 法兰接口:KF/CF等常用真空接口，按客户需求配置
• 供电电压:24VDC（典型值，以实物为准）

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：。