「苏州可靠的电容薄膜真空规品牌」-「迅微纳半导体科技」
规格参数
| 测量原理 | 电容金属薄膜式 |
|---|---|
| 量程范围 | 0.01Torr~1000Torr(按型号选配) |
| 工作温度 | 常温型/高温型可选,高温型最高200℃ |
| 接液材质 | 不锈钢(可选其他耐腐蚀材质) |
| 输出接口 | 模拟量/数字通讯(以订货型号为准) |
| **情况 | CE**,ISO9001:2015质量管理体系** |
产品详情
迅微纳半导体科技推出的XWN-CDM-1000系列电容薄膜真空规,是一款面向高精度真空测量场景的国产化核心器件,量程覆盖0.1Torr级别,适用于科研院所、半导体、真空镀膜、太阳能及核工业等对测量稳定性要求较高的用户。该产品针对电容金属薄膜真空计长期依赖进口、易受供货限制的问题进行自主研发与量产,核心卖点在于高精度薄膜电容传感结构、宽温区工作能力(部分型号可达200℃)以及稳定的批次一致性,并已取得CE**、通过ISO9001:2015质量管理体系**。本文从选型、安装与使用中的常见误区出发,帮助用户少走弯路。
它解决什么问题:从“能测”到“测得准、供得上”
电容薄膜真空规的原理并不复杂:以金属薄膜作为可动电极,与固定电极构成电容,压力变化引起薄膜形变、电容改变,再经电路解算为压力值。难点在于薄膜材料、张力控制、温漂补偿与长期稳定性。许多用户在选型时只关注量程和接口,忽略了精度等级、温度系数与零点稳定性,导致实际使用中出现“读数漂移”“低端不线性”等问题。
XWN-CDM-1000采用金属薄膜电容传感结构,量程覆盖0.01Torr至1000Torr区间(具体以所选型号为准),在低量程段保持较好的分辨力。相比常规方案中需要多只不同量程表拼凑的做法,一只合适量程的电容薄膜规可覆盖更宽的测量区间,减少接口数量与校准成本。对于受进口供货周期影响的用户,国产化量产也意味着更短的交期与更便捷的技术支持。
常见误区与避坑建议
- 误区一:量程越大越通用。量程过大时低端分辨力下降,建议按工作压力的1/3至满量程区间选型,避免长期在接近满量程处工作。
- 误区二:忽略温度影响。未做温补或安装位置温差大时,零点会漂移。建议关注产品的工作温度范围,高温工艺场景可选用耐200℃型号。
- 误区三:安装姿态与管路随意。薄膜规对安装方向与管路振动较敏感,应避免强振动源直连,并预留足够直管段,减少气流扰动。
- 误区四:忽视校准与零点检查。建议定期做零点校验并留存记录,更换工艺或长期停用后重新确认零点。
- 误区五:只看价格不看一致性。批量产线中多台设备间的读数一致性直接影响良率判断,选型时应确认批次一致性与出厂校准方式。
材质配置与结构特点
产品采用金属薄膜传感元件与耐腐蚀腔体结构,接液部分材质可选不锈钢,适应常见工艺气体环境。电路部分做温漂补偿与抗干扰设计,输出支持常见模拟量与数字通讯接口(具体接口形式以订货型号为准)。整体结构紧凑,便于集成到设备机台与真空系统中。产品经过出厂校准,随机提供校准说明,便于用户建立可追溯的计量记录。
应用场景
该系列产品适用于半导体工艺设备中的腔体压力监测、真空镀膜过程中的本底与工作压力测量、太阳能电池制备中的真空段控制、科研院所真空实验平台以及核工业相关真空系统。对于需要高温烘烤或高温工艺的场景,可选用工作温度达200℃的型号,减少因温度导致的测量偏差。
服务与交付
迅微纳半导体科技具备自主研发与量产能力,团队中研发人员占比超过50%,已申请发明专利6项、实用新型2项及软件著作权4项。产品已进入一线设备厂商与科研院所,合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。公司可提供选型咨询、接口适配与售后技术支持,发货地为苏州,支持全国发货,具体交期与价格请咨询。联系方式:迅微纳 4008168065。
规格参数
- 测量原理:电容金属薄膜式
- 量程范围:0.01Torr~1000Torr(按型号选配)
- 工作温度:常温型/高温型可选,高温型最高200℃
- 接液材质:不锈钢(可选其他耐腐蚀材质)
- 输出接口:模拟量/数字通讯(以订货型号为准)
- **情况:CE**,ISO9001:2015质量管理体系**
以上参数以实物为准,具体参数请咨询。联系方式:迅微纳 4008168065,地址:苏州。