「江苏耐用的金属膜真空规品牌」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技的 XWN-CMG-100 电容金属薄膜真空计，是一款面向 0.1Torr 量程段的高精度真空测量器件，适用于半导体设备、真空镀膜、科研院所及核工业等对稳定性和耐用性要求较高的场景。产品针对电容金属薄膜真空计长期依赖进口的问题而开发，核心器件实现国产自主制造，并已在江苏及长三角地区的一线设备厂商和科研单位投入使用。本文以一个江苏本地设备客户的配套项目为例，说明产品选型、交付与区域服务的实际过程。

项目背景：本地设备厂商的配套需求

客户为江苏一家从事真空镀膜与半导体前道设备集成的企业，其腔体压力监测环节原先采用进口电容薄膜真空计。在实际使用中，客户遇到两个问题：一是进口件交货周期较长，备件补货往往需要数周，影响整机交付节奏；二是部分工况下腔体温度偏高，常规型号在长时间运行后零点漂移较明显，需要频繁校准。

客户希望寻找一款兼顾测量精度、耐温能力和本地供货响应的国产真空规，要求量程覆盖 0.1Torr 段，能够在较高环境温度下保持读数稳定，并且供应商能提供及时的技术支持与备件服务。

方案设计：耐温金属薄膜真空计选型

针对客户需求，迅微纳提供了 XWN-CMG-100 电容金属薄膜真空计方案。该型号采用金属薄膜电容传感结构，量程覆盖 0.1Torr 段，是公司已实现量产的高精度规格。结合客户腔体温度偏高的实际情况，方案同步匹配了工作温度可达 200℃ 的耐温版本，以降低高温工况下的漂移风险。

选型过程中，技术团队与客户设备工程师共同确认了接口规格、法兰形式与信号输出方式，并根据腔体实际压力区间设置了测量范围与校准点，确保与原有控制系统兼容。方案同时预留了备件替换接口，便于后期维护。

• 核心传感结构为金属薄膜电容式，量程覆盖 0.1Torr 段
• 提供工作温度可达 200℃ 的耐温型号，适应高温腔体工况
• 接口与信号输出可按客户设备配置匹配
• 国产自主制造，备件供货周期相对可控

实施过程：从样品验证到批量配套

项目分三个阶段推进。第一阶段为样品验证：迅微纳提供样机，客户在自有测试台上与进口件进行对比测试，重点记录零点稳定性、重复性及高温连续运行表现。第二阶段为小批量试用：样机装入客户整机设备，在实际产线环境中运行约两个月，期间技术团队定期回访，协助完成校准参数确认。

第三阶段为批量配套：验证通过后，客户将 XWN-CMG-100 纳入其标准配置清单，迅微纳按批次供货并提供备件支持。由于公司位于长三角区域，样品寄送、现场调试和备件补货的响应时间较进口渠道明显缩短，客户整机交付节奏得到改善。

应用场景

该型号及同系列真空计产品主要面向以下场景：

• 半导体前道设备与真空腔体的压力监测
• 真空镀膜设备的工艺压力控制
• 科研院所真空实验平台的测量与校准
• 太阳能电池制造过程中的真空环节
• 核工业及核聚变相关设备的高可靠性真空测量

迅微纳同时提供皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可根据客户不同真空段的测量需求进行组合配置。产品已通过 CE **，公司已通过 ISO9001:2015 质量管理体系**，具体适配方案需结合现场工况确认。

服务与交付

在区域服务方面，迅微纳面向江苏及周边地区客户提供选型咨询、样品测试、现场调试与备件供应等支持。技术团队由博士、高级工程师及硕士等研发人员组成，研发人员占比超过 50%，可针对特殊工况提供定制化调整。公司合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等，产品已进入一线设备厂商和科研院所的配套体系。

交付流程上，常规型号按订单排产发货，耐温定制型号需提前沟通交期。售后环节提供校准与维护指导，具体服务内容以合同约定为准。

规格参数

• 型号:XWN-CMG-100
• 测量原理:电容金属薄膜式
• 量程:0.1Torr 段（具体分段以选型为准）
• 工作温度:常规型与耐温型（最高约 200℃）可选
• 输出信号:模拟电压/电流输出，可按客户系统配置
• **:CE **，企业通过 ISO9001:2015 质量管理体系**

以上参数以实物为准，具体参数请咨询。

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：。