江苏可靠的半导体设备用真空规制造企业-【迅微纳半导体科技】电容金属薄膜真空计产品答疑

迅微纳半导体科技推出的XWN-CDM系列电容金属薄膜真空计，是一款面向半导体设备、科研院所与真空镀膜行业的高性能真空测量产品，量程覆盖0.1Torr等关键档位，旨在解决高端真空规长期依赖进口的供应风险。产品适合设备厂商、晶圆制造与薄膜工艺用户选型配套，核心卖点是自主量产、宽温版本可选、通过CE**并按ISO9001：2015体系管理。下文围绕采购与使用前客户最常提出的问题逐一说明，具体参数以实物为准，选型细节请咨询厂家。

一、这款真空规主要解决什么问题？

电容金属薄膜真空计是半导体设备中压力测量的关键器件，此前高端量程段产品多依赖进口，供货周期与供应链稳定性存在不确定性。迅微纳以自主研发、制造和销售高性能真空计为方向，重点推进电容金属薄膜真空计的国产化，已实现要求较高的0.1Torr量程产品量产，并开发出工作温度可达200℃的型号，可适应设备腔体高温烘烤与工艺环境。对客户而言，这意味着在同等测量需求下多了一个可评估、可验证的国产选项，同时获得本地化技术支持与响应。

二、怎么选型？量程和温度怎么确定？

选型主要看三点：工艺压力区间、工作温度、接口与电气兼容性。建议先明确设备常用压力范围，再确认是否需要高温版本。迅微纳除电容金属薄膜真空计外，还提供皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可组合覆盖从粗真空到高真空的测量需求，并对MKS、Inficon等常见进口型号提供替代方案评估。若您不确定对应关系，可将原型号、量程与使用工况提供给厂家，由技术人员协助匹配，具体参数请咨询确认。

三、产品参数

• 型号：XWN-CDM-100（系列含0.1Torr等量程档位）
• 测量原理：电容金属薄膜式，全量程高精度测量
• 工作温度：标准版常温型，可选耐200℃高温型
• 输出信号：模拟电压/电流输出，支持常见设备接口（以订购配置为准）
• **情况：产品通过CE**，企业通过ISO9001：2015质量管理体系**
• 适用领域：半导体设备、科研院所、真空镀膜、太阳能、核工业等

四、价格与交期如何？

真空规属于按配置定价的器件，量程、温度版本、接口形式与订货数量都会影响报价，因此参考价为面议。建议客户提供工况参数后获取正式报价，厂家会结合库存与排产情况给出交期说明。对于设备厂商的批量配套需求，可提前沟通备货与长期供货安排，以降低项目进度风险。

五、质保与售后怎么保障？

产品按企业质量管理体系组织生产与检验，出厂前经过相应测试流程。质保期限与售后条款以合同约定为准，客户可在采购前明确质保范围、返修流程与响应时限。迅微纳研发人员占比超过50%，团队由博士、高级工程师、硕士及多名学士组成，具备从器件设计到应用支持的能力，可为客户提供安装指导、参数设置建议与故障排查等技术支持。

六、安装和使用要注意什么？

安装时应保证接口密封良好、法兰清洁，避免颗粒与油污进入传感器腔体；接线按说明书对应信号与电源端子，通电前核对供电电压。使用中避免超出标称量程与温度范围，高温版本需按工艺要求控制升降温速率。对于真空开关类产品，需按设定点位校准后再投入联锁保护。首次上机建议先做零点与量程比对，确认与系统读数一致后再正式使用。

七、应用场景与交付服务

产品已应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，并进入一线设备厂商和科研院所供应链，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。交付方面支持全国发货，可按项目提供选型咨询、样品验证、批量供货与技术培训。公司已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项，持续投入核心器件研发与工艺改进。

规格参数

• 型号:XWN-CDM-100
• 品牌:迅微纳半导体科技
• 参考价:面议
• 发货地:全国发货
• 测量量程:覆盖0.1Torr等档位，具体以订购型号为准
• 工作温度:常温型/耐200℃高温型可选，具体参数请咨询

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：。