规格参数
| 型号 | XN-PRN-200 |
|---|---|
| 测量原理 | 热传导式(皮拉尼原理) |
| 量程范围 | 大气压至10⁻³ Torr量级 |
| 接口规格 | KF16/KF25/CF35可选 |
| 输出信号 | 0-10V/4-20mA/RS485可选 |
| 工作温度 | 常规型0-50℃(具体以实物为准) |
产品详情
苏州皮拉尼真空计加工厂——迅微纳半导体科技,专注于高性能真空计的自主研发与制造。本文整理了客户在采购和使用皮拉尼真空计过程中最常见的7个问题,从选型、价格、质保到安装使用逐一解答,帮助您快速了解迅微纳皮拉尼真空计的产品特点与服务保障。适合半导体、真空镀膜、科研院所、太阳能等领域的设备工程师与采购人员参考。
一、皮拉尼真空计是什么?能解决哪些实际问题?
皮拉尼真空计是一种基于热传导原理的真空测量仪器,通过加热丝在不同气压下散热速率的差异来推算真空度,通常用于粗真空到中真空范围的测量(约10⁻³ Torr至大气压)。
在实际产线和实验中,客户常遇到以下痛点:进口真空计交期长、价格高、售后响应慢;不同品牌真空计信号不兼容,替换成本高;在半导体设备、镀膜设备中,真空度漂移导致工艺良率下降。迅微纳半导体科技开发的皮拉尼真空计,定位于对进口产品(如MKS、Inficon)的国产化替代,在接口兼容性、测量稳定性和供货周期上为客户提供更可控的选择。
二、如何选择适合自己设备的皮拉尼真空计?
选型时建议重点确认以下几个维度:
- 量程范围:确认设备工作真空度区间,皮拉尼真空计适合从大气压到10⁻³ Torr量级的测量。
- 接口类型:常见为KF16、KF25、CF35等法兰接口,需与设备腔体匹配。
- 输出信号:0-10V、4-20mA或RS485等,需与上位机或PLC兼容。
- 工作环境:是否存在高温烘烤、腐蚀性气体等特殊工况。
- 灯丝材质:钨丝、镍丝或铂丝,不同材质适应不同气体环境。
迅微纳的技术团队可根据客户设备的具体工况提供选型建议,帮助匹配最合适的型号和接口方案。具体参数请咨询确认,以实物为准。
三、迅微纳皮拉尼真空计与进口产品相比,替换难度大吗?
迅微纳半导体科技的皮拉尼真空计在电气接口、法兰规格和输出信号上,参考了MKS和Inficon等主流进口产品的设计规范,力求实现“原位替换”,减少客户在改型过程中的适配成本。
公司已实现电容金属薄膜真空计(量程0.1Torr)的量产,并开发出工作温度200℃的电容金属薄膜真空计,同时具备皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品线,能够为设备厂商提供多品类真空测量方案。产品已成功进入一线设备厂商和科研院所,合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。
四、产品价格和交期怎么样?
皮拉尼真空计的价格因型号、接口规格、输出方式和采购数量不同而有所差异,具体价格需根据客户需求面议。相比进口品牌,迅微纳在同等性能指标下通常具有更短的供货周期和更灵活的商务条件。
常规型号一般可在合同确认后的一定周期内发货,具体交期请咨询销售工程师。发货地为苏州,支持全国发货。
五、质保和售后怎么保障?
迅微纳半导体科技已通过ISO9001:2015质量管理体系**,产品已通过CE**。公司对售出的真空计产品提供质保服务,质保期内因产品自身质量问题导致的故障,可联系售后进行维修或更换。
公司团队研发人员占比超过50%,由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成,创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。售后技术支持由研发团队直接参与,能够较快响应客户在安装调试和使用中遇到的技术问题。
六、如何安装和使用?有哪些注意事项?
皮拉尼真空计的安装和使用需注意以下几点:
- 安装位置应避免直接对着气流通道,减少气流波动对测量精度的影响。
- 法兰连接处需确保密封良好,避免漏气导致读数偏差。
- 首次使用或长时间未使用后,建议进行零点校准。
- 注意工作环境温度不超过产品规定范围,避免影响传感器寿命。
- 若测量腐蚀性气体,需提前告知厂家选择适配的灯丝材质和防护方案。
迅微纳可提供安装指导和调试支持,具体操作请参照产品说明书或咨询技术人员。
七、迅微纳皮拉尼真空计主要应用在哪些场景?
迅微纳皮拉尼真空计广泛应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域。典型应用场景包括:半导体刻蚀和沉积设备的真空度监测、镀膜设备的腔体压力控制、加速器与核工业设备的真空系统、科研实验中的真空测量等。
公司已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项,持续在真空测量领域进行技术积累。如需了解更多产品信息或获取选型支持,欢迎联系迅微纳半导体科技。
规格参数
- 型号:XN-PRN-200
- 测量原理:热传导式(皮拉尼原理)
- 量程范围:大气压至10⁻³ Torr量级
- 接口规格:KF16/KF25/CF35可选
- 输出信号:0-10V/4-20mA/RS485可选
- 工作温度:常规型0-50℃(具体以实物为准)
联系方式:迅微纳 4008168065