苏州耐用的200度的真空规优质厂家——电容金属薄膜真空计产品介绍-【迅微纳半导体科技】

迅微纳半导体科技推出的XNM-CDM-200电容金属薄膜真空计，是一款可在200℃高温环境下长期稳定工作的真空测量器件，量程覆盖0.1Torr至1000Torr，适用于半导体制造、真空镀膜、核工业等对耐温和精度有较高要求的场景。该产品由迅微纳自主研发并实现量产，旨在解决高端电容金属薄膜真空计依赖进口的"卡脖子"问题，为一线设备厂商和科研院所提供国产替代方案。下文以常见问题答疑的形式，介绍该产品的选型、安装、使用与服务细节。

一、这款200度真空规适合什么场景？如何判断是否需要？

XNM-CDM-200主要面向需要在高温环境下进行真空测量的工艺环节。例如半导体刻蚀、CVD/PVD镀膜、太阳能电池制程中，腔体温度常达到150℃以上，普通真空规在此温度下容易出现零点漂移或膜片形变，导致读数失准。该产品的工作温度上限为200℃，在此范围内可保持稳定的测量输出。

如果您的设备存在以下情况，可考虑选用该型号：腔体需要烘烤除气、工艺过程中基片温度较高、或真空规安装位置靠近热源。迅微纳团队可依据客户的具体温度曲线、量程需求和接口规格，协助判断是否适用，并提供选型建议。

二、产品参数与核心技术指标

XNM-CDM-200采用电容金属薄膜传感结构，核心感压膜片为金属材质，相比硅基传感器在高温下具有更好的热稳定性和抗腐蚀能力。具体参数如下（以实物为准，具体参数请咨询）：

• 测量量程：0.1Torr至1000Torr（可定制分段量程）
• 工作温度：最高200℃（传感器本体）
• 输出信号：0-10V模拟输出，可选RS485数字接口
• 精度等级：读数的±0.5%（满量程）
• 重复性：≤读数的±0.2%
• 接口规格：KF16/KF25/CF35可选，支持定制法兰

产品已通过CE**，公司通过ISO9001:2015质量管理体系**。迅微纳已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项，研发人员占比超过50%，团队包含2名博士、1名高级工程师和2名硕士。

三、如何安装与使用？有哪些注意事项？

安装前请确认腔体接口规格与所选法兰匹配，建议在真空规与腔体之间加装隔离阀，便于后续维护和校准。安装时应避免将规管安装在气流直冲位置，以减少颗粒沉积对膜片的影响。电缆连接需使用屏蔽线，并确保屏蔽层单端接地，降低电磁干扰。

首次使用或长期停用后重新启用时，建议在200℃下烘烤除气2至4小时，待读数稳定后再进行零点校准。日常使用中，避免超过200℃上限，虽然短时超温不会立即损坏，但反复超温会缩短传感器寿命。若发现零点漂移超出允许范围，可联系迅微纳技术支持进行校准或返厂维护。

四、从选型到交付，迅微纳的服务流程是怎样的？

迅微纳注重服务流程的规范性与响应速度，客户从咨询到交付通常经历以下环节：

• 需求沟通：客户提供量程、温度、接口、输出信号等需求，技术团队评估后给出选型建议。
• 方案确认：双方确认型号、数量、交货期及特殊定制要求，签订合同。
• 生产与检验：产品按ISO9001体系进行生产，出厂前逐台进行温度循环测试和精度标定。
• 发货与物流：从苏州发货，全国范围可配送，精密器件采用防震包装。
• 售后支持：提供安装指导、调试协助和质保服务，质保期内非人为损坏可维修或更换。

迅微纳已与东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等企业和科研机构建立合作，产品进入一线设备厂商和科研院所供应链。

五、质保多久？售后和校准服务怎么安排？

XNM-CDM-200自出厂之日起提供12个月质保。质保期内，因产品自身质量问题导致的故障，迅微纳提供免费维修或更换服务。因误操作、超温、腐蚀性气体侵蚀等非正常使用造成的损坏，可提供有偿维修。

校准服务方面，迅微纳可为客户提供出厂校准证书，也可根据需求安排第三方计量机构校准。对于批量采购客户，可协商年度校准服务方案。技术团队支持远程指导调试，必要时可安排工程师上门协助。

六、价格和货期如何？是否支持定制？

XNM-CDM-200的具体价格根据量程、接口、输出方式和采购数量确定，参考价为面议。常规型号货期一般为4至6周，批量订单或定制需求请与销售团队确认。迅微纳支持接口法兰、输出信号、量程分段等定制，也可根据客户设备空间调整外形尺寸。

作为致力于电容金属薄膜真空计国产替代的团队，迅微纳在保持产品性能的同时，注重供货稳定性和成本可控性，力求为国内设备厂商和科研用户提供可靠的本地化选择。

规格参数

• 型号：XNM-CDM-200
• 测量量程：0.1Torr至1000Torr
• 工作温度：最高200℃
• 输出信号：0-10V / RS485可选
• 精度：读数的±0.5%
• 接口：KF16/KF25/CF35可选

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：苏州。