「苏州电容式真空规公司」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMG系列电容式真空规，是一款基于电容金属薄膜传感技术的高精度真空测量仪器，量程覆盖0.1Torr至1000Torr，适用于半导体制造、真空镀膜、科研实验等对真空度要求严苛的场景。该产品针对电容金属薄膜真空计长期依赖进口、面临供应链不确定性的问题，实现了核心器件的自主研发与国产替代，工作温度最高可达200℃，在精度、稳定性与交付周期方面具备实际优势。

客户面临的典型痛点

在半导体设备、真空镀膜和核工业等领域，真空测量的精度与可靠性直接影响工艺良率与设备运行安全。长期以来，高精度电容金属薄膜真空计的核心供应高度集中，客户在实际使用中普遍面临以下几类问题：

• 进口产品交付周期长，遇到出口管制或禁令时，设备厂商和科研院所面临断供风险，项目进度难以保障。
• 采购成本高，备件更换和维修周期长，售后响应不及时，影响产线连续运行。
• 部分工况要求真空计在较高温度下稳定工作，常规产品在200℃环境下精度漂移较大，难以满足工艺需求。
• 不同品牌真空计的信号接口和机械接口不统一，替换时需额外改造，增加集成难度。

迅微纳针对上述问题，从传感器结构、薄膜材料、信号处理电路到整机校准，完成了全链条自主研发，力求在性能对标的基础上，为客户提供供货稳定、响应及时、兼容性好的国产选择。

产品特点与技术方案

XWN-CMG-100采用电容金属薄膜传感结构，通过金属薄膜在压差作用下的微小位移引起电容变化，经信号调理电路转换为高线性度的真空度输出。相比常规的皮拉尼规或冷阴极电离规，电容金属薄膜技术在0.1Torr量程段具有更好的精度和重复性，且测量结果与气体种类无关，适合对精度要求较高的制程环节。

产品的主要技术特点包括：

• 量程覆盖0.1Torr至1000Torr，可满足从低真空到中真空的测量需求。
• 工作温度版本最高支持200℃，适用于烘烤工况或高温制程环境。
• 输出信号支持0-10V模拟量与RS485数字接口，便于与主流设备控制系统对接。
• 机械接口采用KF16/KF25标准法兰，兼容常见真空系统，替换进口产品时无需大幅改动管路。
• 核心传感元件与信号板均为自主设计，供货周期可控，技术支持响应较快。

需要说明的是，具体精度指标和温度系数会因量程版本和工况条件有所差异，选型时建议结合实际使用环境与迅微纳技术团队确认。

应用场景与适用行业

该产品已在多个对真空测量有明确要求的领域投入使用，典型场景包括：

• 半导体设备：用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺腔体的真空度监测，配合设备厂商完成国产化替代验证。
• 真空镀膜：在蒸发镀、溅射镀等工艺中监控镀膜腔体真空度，保障膜层均匀性与附着力。
• 科研院所：用于表面科学、加速器、低温物理等实验装置的真空测量，满足实验数据可重复性要求。
• 核工业与核聚变设备：在聚变装置真空系统中承担测量任务，产品已进入相关单位采购体系。
• 太阳能与新能源：用于光伏电池制备过程中的真空环境监控。

迅微纳的合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等企业与科研机构，产品已进入一线设备厂商的供应链体系。

服务与交付

迅微纳半导体科技位于苏州，具备从传感器封装、电路调试到整机校准的完整制造能力。公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品通过CE**。团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士及多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人为科技**人才和创业**人才称号获得者。目前已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项。

在交付方面，常规型号可根据库存情况安排发货，定制化需求需与技术团队沟通确认交期。公司提供选型指导、安装调试支持和售后维修服务，具体交付周期与质保条款以合同约定为准。

规格参数

• 型号：XWN-CMG-100
• 测量原理：电容金属薄膜式
• 量程：0.1Torr～1000Torr（以实物为准）
• 工作温度：标准版≤80℃，高温版≤200℃
• 输出信号：0-10V / RS485
• 接口类型：KF16 / KF25（具体参数请咨询）

联系方式：迅微纳 4008168065
地址：苏州