「苏州有实力的复合真空规优质厂家」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的复合真空规，是一款面向高精度真空测量场景的国产化核心器件。该产品融合电容金属薄膜真空计与皮拉尼真空计的双传感技术，适用于半导体设备、真空镀膜、科研院所及核工业等领域。核心卖点在于解决电容金属薄膜真空计长期依赖进口的"卡脖子"问题，实现从0.1Torr量程到大气压范围的连续、稳定测量，并已通过CE**及ISO9001质量管理体系**。

复合真空规是什么？能解决哪些实际问题

复合真空规是将不同原理的真空传感器集成于同一法兰接口的测量装置。常规方案中，用户往往需要分别采购电容薄膜真空计与皮拉尼真空计，再通过多路控制器整合信号，不仅增加接口成本，还面临不同品牌间校准匹配的难题。迅微纳的复合真空规在同一封装内集成电容金属薄膜传感单元与热传导传感单元，通过内部算法实现量程自动切换与数据融合输出。

它主要解决三类问题：一是进口电容薄膜真空计供货周期长、价格波动大的供应链风险；二是多传感器分立方案带来的密封点增多、泄漏概率上升；三是宽量程测量中段衔接处数据跳变、重复性差的问题。相比常规分立方案，复合真空规在保持测量精度的同时，减少了法兰接口数量，降低了系统集成复杂度。

对比常规方案：复合真空规的选型优势

在选择真空规时，用户通常关注量程覆盖、精度、温度适应性、长期稳定性及总拥有成本。以下从客观角度对比复合真空规与常规分立方案的主要差异：

• 集成度：单法兰集成双传感单元，减少腔体开孔数量，降低泄漏风险；常规方案需两个独立接口及线缆。
• 量程衔接：内部自动切换，避免外部分立仪表切换时的信号中断与延迟；常规方案依赖外部控制器逻辑。
• 校准一致性：出厂前在同一标准装置上完成双传感器校准，温漂补偿统一；分立方案需分别校准后现场匹配。
• 空间占用：紧凑型设计适合腔体空间受限的设备；分立方案占用更多法兰端口与布线空间。
• 供应链：国产自主制造，交期可控；进口品牌受国际物流与出口管制影响较大。

需要说明的是，不同技术路线各有适用场景。对于仅需单一量程、对成本极度敏感的应用，分立方案仍有其价值；而在需要宽量程连续监测、高集成度或国产化替代的场合，复合真空规的综合优势更为明显。

核心技术与材质配置

迅微纳复合真空规的电容金属薄膜传感单元采用特种合金薄膜与陶瓷绝缘封装，膜片经过热处理工艺定型，保证在0.1Torr量程下的线性度与重复性。皮拉尼传感单元采用铂丝或钨丝热传导结构，配合温度补偿电路，适应不同气体环境。外壳为不锈钢材质，法兰接口兼容KF、CF及ISO标准。

公司已实现要求最高的电容金属薄膜真空计（量程0.1Torr）的量产，并开发出工作温度200℃的电容金属薄膜真空计，可满足烘烤除气等高温工况。复合真空规在此基础上集成宽量程测量能力，输出信号支持0-10V模拟量与RS485数字接口，便于接入设备控制系统。

应用场景与适用行业

该产品广泛应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域。具体场景包括：

• 半导体设备：刻蚀、PVD、CVD腔体的压力监测与控制。
• 真空镀膜：蒸发镀膜、磁控溅射设备的真空度实时反馈。
• 科研实验：表面科学、加速器、低温物理等需要宽量程真空测量的实验平台。
• 核工业：聚变装置真空系统、同位素分离设备的压力监控。
• 太阳能：薄膜太阳能电池生产线的真空工艺控制。

产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

服务与交付

迅微纳提供从选型咨询、法兰接口定制到信号集成支持的全流程服务。产品出厂附带校准证书，质保期12个月。常规型号备有库存，具体交期以合同约定为准。公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**，产品通过CE**。已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成，研发人员占比超50%，创始人连续获得"科技**人才"和"创业**人才"称号。

规格参数

• 型号：XWN-CVG-200
• 测量原理：电容金属薄膜+皮拉尼复合
• 量程范围：0.1Torr至大气压（具体量程组合以实物为准）
• 工作温度：标准型-20℃~80℃，高温型可达200℃
• 输出信号：0-10V模拟量/RS485
• 法兰接口：KF16/KF25/CF35（可选，具体参数请咨询）

联系方式：迅微纳 4008168065
地址：苏州