江苏电容式真空规品牌｜迅微纳半导体科技电容金属薄膜真空计应用场景解析

迅微纳半导体科技自主研发的电容式真空规（电容金属薄膜真空计），是一款面向高精度真空测量场景的国产核心器件，量程覆盖0.1Torr，可用于半导体设备、真空镀膜、科研装置及核工业等领域的压力监测。该产品针对电容金属薄膜真空计长期依赖进口、受美国禁令限制的"卡脖子"问题而开发，已实现量产，并推出工作温度达200℃的高温型号，为设备厂商和科研院所提供可替代MKS、Inficon同类产品的国产方案。

一、为什么电容式真空规是高端装备的"刚需"

在半导体刻蚀、薄膜沉积、真空镀膜等工艺中，腔体压力的稳定性直接影响薄膜均匀性、刻蚀速率和良率。电容金属薄膜真空计基于金属薄膜电容随压力形变的原理，具有精度高、长期漂移小、抗腐蚀气体干扰等特点，是0.1Torr及以下量程段的主流选择。

过去该量程段产品主要由美国MKS、瑞士Inficon等品牌供应。随着出口管制收紧，一线设备厂商和科研院所面临交付周期长、价格波动、售后受限等问题。迅微纳半导体科技聚焦这一细分方向，完成了从敏感薄膜、信号处理电路到整机标定的自主研发，实现核心器件的国产替代。

二、应用场景一：半导体刻蚀与薄膜沉积设备

刻蚀机和PECVD设备需要在工艺过程中实时监测腔体压力，通常要求真空计在0.1Torr附近具备高分辨率和快速响应。迅微纳电容金属薄膜真空计采用金属薄膜传感结构，量程0.1Torr，输出信号稳定，可匹配设备厂商的闭环压力控制模块。

公司产品已进入一线设备厂商供应链，与迈为科技、三安光电等企业在相关设备领域开展合作，用于替代进口真空计方案，缩短交货周期并降低维护成本。

三、应用场景二：真空镀膜与太阳能电池产线

真空镀膜（如PVD、磁控溅射）和太阳能电池镀膜产线对真空测量的需求是长期稳定、耐频繁启停。产线设备通常连续运行，真空计需具备良好的重复性和抗污染能力。

迅微纳开发的电容金属薄膜真空计及皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计系列，可覆盖从粗真空到高真空的测量区间，适配镀膜设备的全流程压力监测。产品已应用于太阳能领域相关产线，帮助客户构建不依赖单一进口品牌的真空测量方案。

四、应用场景三：科研院所与核工业装置

中国科学技术大学、中国核工业集团、聚变新能（核聚变设备）等单位的实验装置，对真空测量的精度和可靠性要求较高，部分场景还涉及高温、辐照等特殊环境。

针对高温工况，迅微纳开发出工作温度200℃的电容金属薄膜真空计，可在烘烤除气等工艺条件下保持测量稳定性。公司团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士等组成，研发人员占比超50%，具备根据科研装置需求进行定制化适配的能力。

五、服务与交付

迅微纳半导体科技已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品通过CE**。公司已申请发明专利6项、实用新型2项、软件著作权4项，覆盖电容薄膜传感、信号调理等关键环节。

• 合作客户涵盖东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等；
• 产品广泛应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域；
• 提供选型咨询、样品测试与售后技术支持，具体交期与适配方案请咨询确认。

六、规格参数

• 型号:XWN-CDM-100
• 测量原理:电容金属薄膜式
• 量程:0.1Torr（具体量程段以实物为准）
• 工作温度:标准型常温；高温型可达200℃
• 输出信号:模拟电压/电流信号（具体以实物为准）
• **:CE**、ISO9001:2015质量管理体系**

具体参数请咨询迅微纳半导体科技，以实物和正式技术协议为准。

联系方式：迅微纳 4008168065

地址：江苏省（具体地址请致电咨询）