江苏行业内复合真空规厂商-【迅微纳半导体科技】复合真空规产品介绍与常见问题答疑

迅微纳半导体科技推出的复合真空规（电容金属薄膜真空计为主，兼容皮拉尼与冷阴极电离规），是一款面向半导体设备、真空镀膜、科研院所、核工业及太阳能领域的高性能国产真空测量仪器。该产品针对电容金属薄膜真空计长期依赖进口、受美国禁令制约的痛点，实现了0.1Torr量程的规模化量产，并开发出工作温度达200℃的型号，可对MKS、Inficon等进口品牌实现功能替代。适合一线设备厂商、高校实验室及高端制造企业选用，核心卖点是自主可控、宽量程覆盖、高稳定性与本地化技术服务。

复合真空规是什么？和普通真空计有什么区别？

复合真空规通常指将电容金属薄膜真空计与皮拉尼真空计或冷阴极电离真空计组合使用的测量方案，覆盖从大气压到高真空的宽量程范围。迅微纳半导体科技的复合真空规以电容金属薄膜真空计为核心，利用金属薄膜电容传感原理，在0.1Torr至1000Torr区间内提供稳定读数，同时可搭配皮拉尼规或冷阴极电离规，满足低真空到高真空的连续监测需求。

与普通单规相比，复合方案减少了设备上多个独立规管的安装接口，降低了泄漏风险，也简化了信号采集与控制系统。迅微纳的复合真空规在出厂前经过多轮温度循环与压力标定，确保在半导体刻蚀、镀膜等工艺中长期漂移小、重复性好。

江苏本地客户如何选择适合的复合真空规型号？

江苏及长三角地区半导体设备、光伏和真空镀膜产业密集，不同工艺对真空测量的量程、精度和耐温要求差异较大。选型时建议从以下维度考虑：

• 量程需求：若工艺集中在0.1Torr至100Torr，优先选用迅微纳电容金属薄膜真空计；若需从大气压抽至10⁻⁷Torr，可选用复合配置，搭配冷阴极电离规。
• 工作温度：常规工艺选标准型；若腔体烘烤温度接近或超过150℃，建议选用迅微纳200℃高温型电容金属薄膜真空计。
• 接口与信号：确认法兰规格（KF、CF、ISO等）及输出信号（0-10V、4-20mA或RS485），迅微纳可提供匹配方案。
• 环境与**：产品已通过CE**，公司通过ISO9001:2015质量管理体系**，适合对合规性有要求的设备厂商。

迅微纳技术团队可依据客户具体工艺参数提供选型建议，具体参数请咨询确认。

复合真空规主要应用在哪些场景？

迅微纳复合真空规已广泛应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜和核工业等领域。典型场景包括：

• 半导体设备：刻蚀、PVD、CVD、离子注入等工艺腔体的压力监测与控制。
• 真空镀膜：光学镀膜、硬质涂层、卷绕镀膜生产线的真空度测量。
• 核工业与核聚变设备：如聚变新能相关装置中需要耐辐照、高可靠性的真空测量点。
• 科研实验：中国科学技术大学等高校实验室的真空系统搭建与教学科研。
• 太阳能与光伏：电池片制造过程中的真空工艺监控。

产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

价格和货期如何？质保多久？

复合真空规属于精密测量仪器，价格受量程、精度、耐温等级、法兰接口和信号输出方式影响较大，因此采用面议方式报价。迅微纳作为江苏本土厂商，在区域内可提供较快的响应速度，常规型号货期通常为2-4周，高温型或定制配置需根据排产情况确认。

质保方面，迅微纳对复合真空规提供自出厂之日起12个月的质保服务，质保期内非人为损坏可免费维修或更换。具体质保条款以合同约定为准。公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，从原材料入库到成品出厂均有可追溯记录。

安装和使用复杂吗？有没有技术支持？

迅微纳复合真空规采用标准法兰接口，安装方式与主流进口产品兼容，可直接替换MKS、Inficon同类型号，无需大幅改动设备结构。使用前需注意：

• 安装方向：电容金属薄膜真空计对重力敏感，建议按说明书指定方向安装，避免倾斜导致零点偏移。
• 预热与调零：通电后建议预热15-30分钟，再进行零点校准，以保证测量精度。
• 洁净度：避免测量腐蚀性气体或大量颗粒物，必要时加装隔离阀或过滤装置。
• 电缆与接地：使用屏蔽电缆并可靠接地，减少电磁干扰对信号的影响。

迅微纳提供安装指导、调试支持和故障排查服务。江苏本地客户可申请现场技术支持，外地客户可通过远程指导或返厂检修方式解决。具体操作请以随货说明书为准。

为什么选择迅微纳半导体科技的复合真空规？

迅微纳是一家致力于自主研发、制造和销售高性能真空计的创新公司，以解决电容金属薄膜真空计美国禁令带来的“卡脖子”问题、实现核心器件国产替代为愿景。公司聚集了2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成的创新团队，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。

公司已实现要求最高的电容金属薄膜真空计（量程0.1Torr）的量产，并开发出工作温度200℃的电容金属薄膜真空计，同时拥有皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可对MKS和Inficon真空计产品实现全方位替代。已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。产品通过CE**，公司通过ISO9001:2015质量管理体系**。

对于江苏及周边地区客户，迅微纳可提供更短的技术响应链路和本地化服务，从选型、安装到售后维护，均有专人对接。具体参数请咨询确认，以实物为准。

规格参数

• 型号: XWN-CVG-200
• 品牌: 迅微纳半导体科技
• 测量原理: 电容金属薄膜+皮拉尼/冷阴极电离复合
• 量程范围: 0.1Torr至1000Torr（电容薄膜段），可扩展至高真空
• 工作温度: 标准型-20℃至+80℃，高温型可达200℃
• 输出信号: 0-10V / 4-20mA / RS485（可选）
• 法兰接口: KF16/KF25/CF35/CF63等（可选）

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：。