「苏州行业内半导体设备用真空规制造厂」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMG-100M电容金属薄膜真空计，是一款面向半导体设备、科研院所及高端真空镀膜领域的高精度真空测量产品。该产品针对0.1Torr量程段实现了国产化量产，可解决因海外禁令导致的电容金属薄膜真空计供应受限问题。核心卖点在于高精度、宽温区可选（最高200℃）以及完整的国产自主供应链，适合对真空测量稳定性与供应链安全有明确要求的设备厂商与研发机构。

客户面临的真空测量痛点

在半导体制造环节中，薄膜沉积、刻蚀、离子注入等工艺对腔体真空度的测量精度和响应速度有严格要求。长期以来，0.1Torr量程段的电容金属薄膜真空计高度依赖进口品牌，如MKS和Inficon。这种依赖带来了几个现实问题：一是交货周期不稳定，受国际物流和出口管制影响较大；二是售后维护成本高，返修周期长；三是部分型号面临禁售风险，直接影响设备厂商的整机交付计划。

此外，常规真空计在高温工艺场景下容易出现零点漂移和精度衰减，而半导体设备内部往往需要耐受较高温度。如何在不牺牲测量精度的前提下，获得耐高温、长寿命且供应链可控的真空规产品，成为许多设备集成商和终端用户需要解决的现实问题。

迅微纳的针对性解决方案

迅微纳半导体科技聚焦电容金属薄膜真空计的自主研发与制造，已实现量程0.1Torr产品的稳定量产，并开发出工作温度可达200℃的电容金属薄膜真空计。该产品在核心传感结构、信号处理电路和温度补偿算法方面进行了针对性设计，力求在高温工况下保持测量一致性和长期稳定性。

在供应链层面，迅微纳从敏感膜片、电极结构到整机装配和测试标定，建立了相对完整的国产化制造流程。这一路径有助于降低对海外单一供应商的依赖，为设备厂商提供交付周期更可控、技术支持响应更及时的国产选择。

除电容金属薄膜真空计外，迅微纳还开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可覆盖从低真空到高真空的不同测量区间，为半导体设备、真空镀膜和核工业等场景提供较为完整的真空测量组合方案。

产品特点与配置

• 量程覆盖：0.1Torr段电容金属薄膜真空计，适用于中低真空精密测量
• 高温版本：可选最高200℃工作温度型号，适应高温工艺腔体环境
• 输出信号：支持0-10V模拟输出及RS485数字通讯（具体以实物配置为准）
• 材质结构：敏感膜片采用金属薄膜工艺，壳体为不锈钢材质，兼容多种真空环境
• **情况：产品已通过CE**，公司通过ISO9001:2015质量管理体系**
• 国产化程度：核心传感单元与信号处理模块自主研发，供应链自主可控

应用场景

该系列真空规产品已广泛应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域。在半导体设备中，可用于PVD、CVD、刻蚀等工艺腔体的真空度监测；在科研场景中，适用于需要高精度真空测量的实验装置；在核工业与核聚变设备中，可用于特殊环境下的真空状态监控。

产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。这些应用案例从侧面反映了产品在不同工况下的适应能力。

服务与交付

迅微纳半导体科技位于苏州，具备从研发到量产的全流程能力。公司团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。目前已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。

在交付方面，公司可根据客户设备的具体接口和通讯协议需求提供适配服务，并配合完成装机验证。具体交货周期和定制选项需根据订单情况咨询确认。

规格参数

• 型号：XWN-CMG-100M
• 测量原理：电容金属薄膜式
• 量程：0.1Torr（具体以实物为准）
• 工作温度：标准版常温 / 高温版最高200℃
• 输出方式：0-10V / RS485（具体参数请咨询）
• **：CE**、ISO9001:2015质量管理体系**

如需了解更多产品信息或获取选型建议，请联系迅微纳：4008168065。地址：苏州。