「苏州金属膜真空计供货商」-「迅微纳半导体科技」
规格参数
| 型号 | XWN-CMG-100(常温型)/ XWN-CMG-200HT(高温型) |
|---|---|
| 量程 | 0.1Torr、1Torr、10Torr、100Torr、1000Torr可选 |
| 精度 | 读数的0.5%(常规),0.25%(高精度型可选) |
| 工作温度 | 常温型≤50℃,高温型≤200℃ |
| 输出信号 | 0-10V / 4-20mA |
| 法兰接口 | KF16、KF25、CF35、CF63等可选 |
产品详情
苏州金属膜真空计供货商迅微纳半导体科技,专注电容金属薄膜真空计的自主研发与制造,主推XWN-CMG系列产品,量程覆盖0.1Torr至1000Torr,可替代MKS、Inficon等进口品牌。适合半导体设备、真空镀膜、科研院所、核工业等对真空测量精度和稳定性有要求的用户。核心卖点在于国产化供应、快速响应的选型服务以及200℃高温工况的定制能力。
产品类型与规格差异:先分清需求再选型
金属膜真空计(电容薄膜真空计)是利用金属膜片在压差作用下产生位移,通过电容变化测量**压力的真空计。按量程通常分为:0.1Torr、1Torr、10Torr、100Torr、1000Torr等档位。量程越小,膜片越薄,制造难度越高,价格也越高。按工作温度分为常温型(≤50℃)和高温型(可达200℃),高温型适用于镀膜、刻蚀等腔体温度较高的工艺环境。
选型时需重点确认三个参数:一是量程,建议工作压力落在满量程的10%~90%区间,精度**;二是精度等级,常规为读数的0.5%,高精度型可达0.25%;三是法兰接口,常见KF16、KF25、CF35、CF63等,需与腔体接口匹配。此外,输出信号(0-10V、4-20mA)和供电方式也需与上位机系统一致。
不同需求下的选择建议
若用于半导体设备中的中等真空测量(1Torr~100Torr),推荐XWN-CMG-100常温型,性价比高,交期短。若用于真空镀膜或高温工艺腔体,建议选择XWN-CMG-200HT高温型,工作温度可达200℃,减少温度漂移带来的测量误差。若需要替代MKS Baratron系列,迅微纳可提供引脚兼容的型号,降低设备改造工作量。
对于科研院所的小批量、多规格需求,迅微纳支持按量程和法兰定制,提供选型对照表和技术咨询。对于核工业等特殊环境,可提供经过额外老化测试的批次,并出具测试报告。所有产品均通过CE**,公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**。
服务流程与交付细节
迅微纳的服务流程分为五步:需求确认、选型推荐、样品测试、批量供货、售后跟踪。需求确认阶段,由技术工程师与用户沟通量程、精度、接口、温度等参数;选型推荐阶段,提供1-2个型号方案及对比说明;样品测试阶段,可提供样机供用户实测验证;批量供货阶段,常规型号交期约2-4周,定制型号约4-6周;售后跟踪阶段,提供12个月质保和技术支持。
- 选型支持:提供进口品牌替代对照表,协助确认接口和信号兼容性
- 样品服务:可申请样机测试,测试周期通常为1-2周
- 交付周期:常规型号2-4周,高温定制型号4-6周
- 质保政策:自发货之日起12个月内,非人为损坏免费维修或更换
- 技术文档:随货提供校准证书、测试报告和接线说明
应用场景
迅微纳金属膜真空计已应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域。合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能(核聚变设备)、中国科学技术大学、中国核工业集团等。在半导体设备中,用于腔体压力控制;在镀膜设备中,用于工艺气体压力监测;在核工业中,用于特殊环境下的真空测量。
规格参数
- 型号:XWN-CMG-100(常温型)/ XWN-CMG-200HT(高温型)
- 量程:0.1Torr、1Torr、10Torr、100Torr、1000Torr可选
- 精度:读数的0.5%(常规),0.25%(高精度型可选)
- 工作温度:常温型≤50℃,高温型≤200℃
- 输出信号:0-10V / 4-20mA
- 法兰接口:KF16、KF25、CF35、CF63等可选
具体参数以实物为准,选型前请咨询技术工程师确认工况适配性。
联系方式:迅微纳 4008168065,地址:苏州。