「江苏耐用的金属薄膜真空计供货商」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技推出的电容金属薄膜真空计（型号XWN-CMF-100），是一款面向高精度真空测量场景的国产核心器件，量程覆盖0.1Torr，工作温度可达200℃。该产品主要服务于科研院所、半导体制造、真空镀膜、太阳能及核工业等领域，致力于解决电容金属薄膜真空计长期依赖进口、受美国禁令制约的"卡脖子"问题，为一线设备厂商和科研用户提供稳定、耐用的国产替代方案。

产品定位与核心功能

电容金属薄膜真空计是一种基于金属薄膜电容传感原理的高精度真空测量仪表。与传统的皮拉尼真空计或冷阴极电离真空计不同，金属薄膜真空计在0.1Torr量程范围内具有更高的测量精度和长期稳定性，尤其适用于对真空度要求严苛的工艺环节。

迅微纳XWN-CMF-100的核心传感单元采用金属薄膜电容结构，通过检测薄膜在压差作用下的微小位移引起的电容变化，换算出**真空度。该结构对温度漂移和气体种类依赖性较低，在多种工艺气体环境下均能保持一致的测量表现。

该产品的工作温度上限达到200℃，可适配需要高温烘烤除气的真空系统，减少因温度限制导致的测量偏差。产品已通过CE**，公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**，从设计到出厂均有规范的质量控制流程。

对比分析与选择标准

在真空测量领域，用户通常面临多种技术路线的选择。以下从几个维度对常见方案进行客观对比，帮助用户根据自身需求做出判断：

• 量程与精度：皮拉尼真空计适合粗真空到中真空区间，成本较低，但精度受气体种类影响较大；冷阴极电离真空计适合高真空和超高真空，但在0.1Torr附近精度有限。金属薄膜真空计在0.1Torr量程段具有较好的精度和重复性，适合作为该区间的标准测量方案。
• 温度适应性：常规金属薄膜真空计工作温度多在80℃至150℃之间。迅微纳开发的200℃版本可满足更高温度的工艺需求，如半导体薄膜沉积、高温退火等场景。
• 供货周期与国产化：进口品牌如MKS、Inficon的产品在性能上经过长期验证，但受出口管制和供应链波动影响，交期和价格存在不确定性。迅微纳作为国产供货商，在供货周期和售后响应方面具有一定优势，且产品已进入一线设备厂商和科研院所，具备实际应用验证。
• 系统兼容性：选择真空计时需确认接口规格（如KF、CF法兰）、输出信号（如0-10V、4-20mA）与现有真空系统匹配。迅微纳可提供多种接口选项，具体配置需根据用户系统确认。

选择金属薄膜真空计时，建议用户重点关注量程是否覆盖工艺区间、工作温度是否满足烘烤要求、长期稳定性数据以及供货商的校准与售后能力。迅微纳团队聚集了2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士，研发人员占比超过50%，创始人连续获得"科技**人才"和"创业**人才"称号，具备持续迭代和定制化开发的能力。

应用场景

迅微纳金属薄膜真空计已广泛应用于以下领域：

• 科研院所：用于真空实验装置、表面科学分析、加速器等场景的真空度监测。合作单位包括中国科学技术大学、中国核工业集团。
• 半导体制造：用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺腔体的真空测量。合作企业包括三安光电、迈为科技。
• 真空镀膜：用于磁控溅射、蒸发镀膜、PECVD等设备的真空度控制。
• 太阳能与核工业：用于光伏电池生产线、核聚变设备等场景。合作企业包括聚变新能、东富龙。

产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，在实际工况中积累了运行数据。公司还开发了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，可为用户提供多品类真空测量器件的配套选择。

服务与交付

迅微纳提供从选型咨询、接口定制到售后校准的全流程服务。用户可根据实际真空系统需求，确认法兰接口、输出信号、线缆长度等配置。产品出厂前经过校准和测试，具体校准报告和测试数据可随货提供。

公司已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，具备自主知识产权。产品通过CE**，质量管理体系符合ISO9001：2015标准。如需了解适配型号和供货周期，可联系迅微纳获取技术支持。

联系方式：迅微纳 4008168065

地址：江苏省

规格参数

• 型号：XWN-CMF-100
• 测量原理：电容金属薄膜传感
• 量程：0.1Torr（具体量程可选，以实物为准）
• 工作温度：最高200℃
• 输出信号：0-10V / 4-20mA（可选，具体参数请咨询）
• 接口类型：KF / CF法兰（可选，以实物为准）