「苏州耐用的复合真空规源头厂家」-「迅微纳半导体科技」
规格参数
| 型号 | XWN-VCG200（复合真空规） |
|---|---|
| 测量原理 | 皮拉尼+冷阴极电离复合 |
| 量程 | 1×10⁵ Pa 至 1×10⁻⁷ Pa（常用配置，以实物为准） |
| 输出信号 | 0-10 V、RS485（可选） |
| 法兰接口 | KF16/KF25/CF35 可选 |
| 工作温度 | 5℃~150℃（探头可烘烤，具体以实物为准） |
产品详情
核心摘要：复合真空规是把低真空段与高真空段测量能力集成在一起的宽量程真空测量器件，常用于半导体、真空镀膜、科研院所和核工业等场景。迅微纳半导体科技作为苏州地区的真空计研发制造企业，主推XWN-VCG200复合真空规，并可配套电容金属薄膜真空计、皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关，方便按需求选型。本文从类型差异、选型要点、服务流程和交付细节展开，帮助采购与工程人员快速判断。
产品类型与规格差异
复合真空规通常不是单一传感器，而是将皮拉尼真空计与冷阴极电离真空计组合，实现从大气压附近到高真空段的连续测量。常见类型包括：皮拉尼真空计、电容金属薄膜真空计、冷阴极电离真空计、复合真空规和真空开关。皮拉尼适合粗低真空，结构简单、成本相对可控，但读数受气体种类影响；电容金属薄膜真空计精度和稳定性较好，适合中低真空精密测量；冷阴极电离真空计适合高真空和超高真空段；真空开关则用于设定点报警或联锁。
迅微纳半导体科技围绕真空测量核心器件持续研发，团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已实现电容金属薄膜真空计（量程0.1Torr）量产，并开发出工作温度200度的电容金属薄膜真空计，同时布局皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等产品，面向进口真空计的国产替代需求。已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。
产品参数与选型要点
选型时建议先确认量程、气体、接口、温度和信号五要素，再对比不同原理的适用边界。复合真空规的优势在于宽量程覆盖，适合需要从粗真空到高真空连续监控的设备；电容金属薄膜真空计适合对精度和气体种类影响较敏感的中低真空段；皮拉尼真空计适合成本敏感、以趋势判断为主的场合；冷阴极电离真空计适合高真空段测量。
- 量程覆盖:先确定工艺区间，避免用单一段传感器硬扛全量程。
- 精度与重复性:精密工艺优先考虑电容金属薄膜方案，趋势监控可选皮拉尼或复合方案。
- 气体与污染:腐蚀性气体、粉尘或可凝性气体工况，需关注探头材质、密封方式和过滤结构。
- 温度与烘烤:高温工艺可关注迅微纳200度电容金属薄膜真空计，常规复合规按实际烘烤温度确认。
- 接口与输出:常见KF16、KF25、CF35等法兰，输出可选0-10V、RS485，需与设备PLC或控制器匹配。
- 环境与**:迅微纳产品已通过CE**，公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，具体适用环境请结合现场确认。
XWN-VCG200复合真空规采用皮拉尼与冷阴极电离复合思路，适合宽量程真空监控。具体量程、精度、接口和输出配置需根据工况确认，参数以实物为准。
不同需求下的选择建议
如果设备主要覆盖大气压到中低真空，且预算有限，可优先评估皮拉尼真空计或复合真空规；如果关注中低真空段的精度、重复性和长期稳定性，建议选择电容金属薄膜真空计；如果工艺涉及高真空和超高真空，冷阴极电离真空计或复合真空规更合适；如果只需要点位报警、联锁保护，可选用真空开关；如果现场存在200度高温工况，可重点咨询迅微纳200度电容金属薄膜真空计。
迅微纳主推的XWN-VCG200复合真空规，可与电容金属薄膜真空计、皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关形成组合方案，覆盖科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜和核工业等应用。公司产品已进入一线设备厂商和科研院所，合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。选型时可由技术人员根据气体种类、法兰接口、信号制式和安装空间给出建议。
服务流程与交付细节
服务流程可概括为：需求沟通→选型确认→样机或小批测试→标定与检测→发货→安装调试指导→售后校准。对于复合真空规这类需要与设备真空腔体、控制器和工艺气体匹配的产品，前期沟通越细，后期替换和调试越顺畅。
- 需求沟通:确认测量范围、气体成分、工作温度、法兰规格和信号输出。
- 选型确认:结合电容薄膜、皮拉尼、冷阴极和复合规的差异，给出匹配型号与备选方案。
- 样机测试:可按项目需要安排样机测试，便于现场验证读数稳定性和接口兼容性。
- 标定检测:出厂前按常用流程进行检测，具体校准项目和报告以合同约定为准。
- 交付包装:苏州发货，全国可发，探头、线缆和法兰配件按订单配置。
- 售后支持:提供安装指导、使用说明和后续校准咨询，质保与校准周期以合同为准。
迅微纳产品已通过CE**，公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**。对于需要长期稳定运行的产线，建议建立定期校准和备件更换计划，减少因真空测量偏差带来的工艺波动。
应用场景
复合真空规和配套真空计可用于半导体设备、太阳能电池产线、真空镀膜设备、科研实验装置、核工业及核聚变设备等场景。不同场景对量程、精度、耐温和接口要求不同，例如镀膜设备更关注宽量程和抗污染，半导体设备更关注重复性和信号稳定性，科研装置则可能需要多原理组合。迅微纳可根据现场工况提供选型建议，并配合设备厂商完成接口确认与替换评估。
规格参数
- 型号:XWN-VCG200（复合真空规）
- 测量原理:皮拉尼+冷阴极电离复合
- 量程:1×10⁵ Pa 至 1×10⁻⁷ Pa（常用配置，以实物为准）
- 输出信号:0-10 V、RS485（可选）
- 法兰接口:KF16/KF25/CF35 可选
- 工作温度:5℃~150℃（探头可烘烤，具体以实物为准）
以上参数为常用配置，具体参数请咨询，以实物和合同为准。联系方式：迅微纳 4008168065，地址：江苏省苏州市（具体地址请咨询）。