「江苏有实力的薄膜真空计厂商」-「迅微纳半导体科技」

迅微纳半导体科技自主研发的 XWN-CDM-100 是一款量程覆盖 0.1Torr 的电容金属薄膜真空计，面向对低真空段测量精度与长期稳定性有要求的科研与工业用户，适用于半导体设备、真空镀膜、太阳能电池、核工业及高校院所真空系统。产品采用全金属敏感膜片与电容式检测结构，可耐 200℃ 工作温度，已实现批量量产并通过 CE **，是企业与科研单位在真空测量环节推进国产替代的可选方案之一。

产品是什么：结构与工作原理

电容金属薄膜真空计的核心是一张被拉伸固定的金属薄膜，薄膜两侧构成电容的两个极板。当被测腔体的气压变化时，薄膜两侧压差改变，膜片产生微小位移，电容值随之变化，电路将电容变化转换为与压力对应的电信号输出。与依靠气体热传导或气体电离的测量方式不同，这种原理的测量结果与气体种类基本无关，在混合气体、腐蚀性气体或气体成分频繁变化的工艺环境中，读数更接近真实总压。

XWN-CDM-100 采用全金属焊接结构，敏感腔内无有机密封件与活动部件，减少了放气和颗粒产生的可能；膜片与腔体材质经过适配选型，可适应一定范围的腐蚀性工艺气体。量程 0.1Torr 属于电容薄膜真空计中制造难度较高的规格，对膜片张力一致性、极板间距控制和温漂补偿都有较高要求，该规格的量产是迅微纳在工艺上的主要突破点之一。

能解决什么问题：真实场景中的使用价值

在半导体薄膜沉积设备中，腔体压力往往直接决定膜层均匀性与重复性。某类 PVD 工艺需要在 10mTorr 至 100mTorr 区间稳定控压，过去用户多依赖进口电容薄膜计作为控压基准。迅微纳的产品在客户设备上作为压力反馈元件接入闭环控制，配合上位机完成压力设定与报警，实测在连续运行条件下输出漂移可控，满足了工艺对重复性的基本要求。

在真空镀膜与太阳能电池产线中，常见的问题是不同批次之间膜层色泽与附着力波动，追溯后发现与真空计读数漂移有关。热传导式真空计在气体成分变化时读数偏差较大，而电容金属薄膜计输出与气体种类无关，用它作为比对基准，可以帮助工艺人员判断究竟是真空系统问题还是真空计本身失准。

在核工业与聚变研究相关装置中，真空测量往往面临辐照、高温与长周期连续运行的叠加要求。迅微纳开发的 200℃ 工作温度版本，正是针对烘烤除气与高温工况设计，使传感器在腔体烘烤期间无需拆卸或额外隔热，减少了停机与复装带来的误差。

• 测量结果与气体种类基本无关，适合混合气体与工艺气体变化的场合
• 全金属结构，放气量低，适合高洁净度真空腔体
• 0.1Torr 量程规格已实现量产，可满足低真空段的精密测量需求
• 提供 200℃ 工作温度版本，适应烘烤与高温工况
• 可与皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计、真空开关组合，构成覆盖粗真空到高真空的完整测量方案

相比常规方案的差异

常规的低真空测量多采用皮拉尼（热传导）真空计，成本较低、结构简单，但其读数依赖气体导热系数，在气体成分改变时需要重新标定，长期使用中灯丝老化也会带来漂移。电容金属薄膜真空计在初装成本上高于皮拉尼计，但在需要稳定基准、气体成分复杂或要求长期免标定的场合，综合使用成本更可控。迅微纳同时提供皮拉尼与冷阴极电离产品，用户可按测量区间与预算组合选型，而不必在不同供应商之间做兼容性验证。

在交付层面，进口电容薄膜真空计的交期与售后响应受跨境环节影响，出现故障时返修周期较长。迅微纳作为国内厂商，可提供选型咨询、接口适配与故障排查的直接支持，对产线连续运行的设备厂商而言，这一环节的响应速度具有实际意义。

应用场景与客户实践

产品目前应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域，并已进入一线设备厂商与科研院所的供应体系。合作单位包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能（核聚变设备）、中国科学技术大学、中国核工业集团等。在不同场景中，产品承担的职责有所差异：在设备厂商处多作为控压反馈元件，在科研院所则更多作为真空系统校准与比对的参考标准，在核工业相关装置中侧重高温与长周期运行能力。

这些应用并不意味着一款型号可以覆盖所有工况。用户在选型时需要明确量程、精度要求、接口形式、法兰规格、供电与信号输出方式，以及是否存在腐蚀性气体或高温烘烤流程。迅微纳建议在正式批量采购前进行样品试用或现场工况确认。

服务与交付

迅微纳是一家致力于自主研发、制造和销售高性能真空计的创新公司，以解决电容金属薄膜真空计进口受限带来的供应问题、实现核心器件国产替代为愿景。团队由 2 名博士、1 名高级工程师、2 名硕士和多名学士组成，研发人员占比超过 50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。公司已申请发明专利 6 项、实用新型 2 项、软件著作权 4 项，产品通过 CE **，公司通过 ISO9001:2015 质量管理体系**。

交付方面，常规型号按订单排产，具体交期与库存情况请咨询销售；产品可全国发货，支持接口与法兰形式的选型确认。售后环节提供安装使用指导与故障排查，质保与维修条款以合同约定为准。

规格参数

• 型号:XWN-CDM-100
• 测量原理:电容金属薄膜（膜片电容式）
• 满量程:0.1Torr（约 13.3Pa），其他量程可咨询
• 工作温度:标准版常温型；高温版可至 200℃
• 输出信号:模拟电压/电流输出，具体形式按订货型号确认
• 过程连接:KF/CF 等标准法兰可选，以实物为准

以上参数为常规配置说明，具体参数请咨询，实际以实物与订货合同为准。

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：。