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「江苏有实力的电容薄膜真空规企业」-「迅微纳半导体科技」

更新时间:2026-11-03 20:15:12
参考价:面议
型 号XWN-CMG-0.1T
品 牌迅微纳半导体科技
发货地全国发货

规格参数

型号XWN-CMG-0.1T
测量原理电容金属薄膜传感
量程与精度0.1Torr,典型精度±0.5%读数(以实物为准)
工作温度支持200℃版本(具体型号以实物为准)
输出信号0-10V / 4-20mA可选(具体请咨询)
供电与接口24VDC;KF/CF法兰可选,接液材质可选不锈钢或耐腐蚀合金(以实物为准)

产品详情

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMG-0.1T电容金属薄膜真空规,是一款面向高精度真空测量与国产化替换需求的核心器件,适合半导体设备、科研院所、真空镀膜、太阳能和核工业等用户。它围绕进口交期、维护成本、高温工况和系统集成等痛点,提供0.1Torr量程、200℃版本及多类真空计组合方案。核心卖点是自主研发、电容金属薄膜传感、国产替代选型与本土服务响应。具体参数以实物和选型确认为准。

客户常见的真空测量痛点

在半导体制程、真空镀膜和科研装置中,真空度直接影响工艺重复性、薄膜质量和设备稳定性。很多用户会遇到:进口电容薄膜真空规采购周期长、维护费用高,部分关键型号受供应限制;长期运行后零点漂移、温漂影响读数;腐蚀性气体、颗粒污染缩短膜片寿命;接口、输出信号和机械尺寸与现有设备不匹配,替换时改机成本高。对于0.1Torr这类高要求量程,稳定性和重复性更关键。

产品参数与国产化解决思路

针对上述问题,迅微纳致力于自主研发、制造和销售高性能真空计,重点解决电容金属薄膜真空计进口限制带来的供应难题,推进核心器件国产替代。公司已实现高要求的电容金属薄膜真空计(量程0.1Torr)量产,并开发出工作温度200℃的电容金属薄膜真空计;同时推出皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品,可面向MKS、Inficon常用型号的国产化替换需求进行选型匹配。

XWN-CMG-0.1T采用电容金属薄膜传感结构,以金属膜片作为压力敏感元件,将压力变化转化为电容信号,适合需要稳定压力反馈的高真空与低真空控制场景。接液部分可选不锈钢或耐腐蚀合金,法兰和输出信号可按设备接口配置,便于接入现有控制器与真空系统。具体材质、接口和电气参数请咨询确认,以实物为准。

  • 0.1Torr量程量产,面向高要求真空测量与国产替代选型;
  • 提供200℃工作温度版本,适应烘烤、高温工艺与严苛工况;
  • 金属薄膜电容传感,有助于提升读数稳定性与重复性;
  • 输出、法兰和接液材质可配置,方便设备集成与维护替换;
  • 可搭配皮拉尼、冷阴极电离和真空开关,形成组合测量方案。

公司聚集了2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成的创新团队,研发人员占比超50%,创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项,产品通过CE**,公司通过ISO9001:2015质量管理体系**。

应用场景

产品广泛应用到科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域。在半导体设备中,可用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入等环节的压力监测;在镀膜和太阳能产线中,用于蒸发、溅射、PECVD等工艺的真空控制;在科研与核工业中,用于加速器、表面科学、聚变装置等需要稳定真空信号的场合。产品已成功进入一线设备厂商和科研院所,合作知名企业包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能(核聚变设备)、中国科学技术大学、中国核工业集团。

服务/交付

迅微纳提供选型咨询、样机测试、接口定制、安装调试指导和售后支持。发货地为全国发货,参考价面议,具体交期、质保与校准服务以合同和订单沟通为准。对于希望降低进口依赖、缩短维护周期的用户,可先提供工况参数、量程、接口和输出要求,由技术团队协助匹配电容薄膜真空规或其他真空计产品。

规格参数

  • 型号: XWN-CMG-0.1T
  • 测量原理: 电容金属薄膜传感
  • 量程与精度: 0.1Torr,典型精度±0.5%读数(以实物为准)
  • 工作温度: 支持200℃版本(具体型号以实物为准)
  • 输出信号: 0-10V / 4-20mA可选(具体请咨询)
  • 供电与接口: 24VDC;KF/CF法兰可选,接液材质可选不锈钢或耐腐蚀合金(以实物为准)

联系方式:迅微纳 4008168065,地址:江苏省(具体地址请咨询)。

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