江苏行业内0.1mTorr真空规公司｜迅微纳半导体科技高精度电容金属薄膜真空计应用场景解析

迅微纳半导体科技推出的XWN-CMG-100M电容金属薄膜真空计，是一款量程覆盖0.1mTorr（约0.013Pa）的高精度真空测量设备，面向科研院所、半导体制造、真空镀膜、核工业等对低压段测量有严格要求的用户。该产品致力于解决电容金属薄膜真空计长期依赖进口的"卡脖子"问题，实现核心器件的国产替代。产品已通过CE**，公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，适合需要稳定、可溯源的低真空测量方案的江苏及全国用户。

场景一：半导体薄膜沉积设备的低压过程监控

在PVD、CVD、ALD等半导体薄膜沉积工艺中，腔体在抽真空后常需进入0.1mTorr至数十mTorr的工作区间。这一区间的压力稳定性直接影响薄膜均匀性和界面质量。传统进口真空规在该量程段交期长、维护成本高，产线用户对国产替代方案有明确需求。

迅微纳XWN-CMG-100M采用电容金属薄膜传感结构，在0.1mTorr低压段具备良好的分辨率和重复性，可适配半导体设备的过程监控接口。产品已进入一线设备厂商，合作企业包括三安光电、迈为科技等，在薄膜沉积设备的低压测量环节形成了实际应用验证。

场景二：科研院所真空实验平台的测量配套

中国科学技术大学等科研院所在表面科学、低温物理、等离子体研究等实验中，常需要在高真空或超高真空背景下精确测量0.1mTorr附近的压力变化。这类场景对真空规的长期漂移、温度稳定性和信号输出一致性要求较高。

迅微纳团队研发人员占比超过50%，由2名博士、1名高级工程师、2名硕士等组成，具备从传感器设计到整机标定的完整开发能力。XWN-CMG-100M可提供稳定的模拟或数字输出，便于接入实验室数据采集系统，已成功进入多家科研院所的实验平台。

场景三：核工业与聚变装置的真空测量

核工业及核聚变设备在运行中涉及大量真空腔体和管路系统，部分环节需要在0.1mTorr量级进行压力监测，且对器件的耐辐照、长期可靠性有较高要求。聚变新能（核聚变设备）和中国核工业集团是迅微纳的合作单位，产品在相关真空测量环节中承担压力信号采集任务。

针对此类应用，迅微纳可提供工作温度200℃的电容金属薄膜真空计变体，适应烘烤除气等工况。公司已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，为核工业场景的定制化需求提供技术支撑。

场景四：太阳能与真空镀膜产线的区域服务

江苏及周边地区聚集了大量太阳能电池和真空镀膜企业，产线对真空规的响应速度、抗污染能力和售后响应时间有实际要求。进口品牌在区域服务上往往存在响应周期长的问题。

迅微纳立足江苏，面向全国发货，可为本地区用户提供更短的技术支持和交付周期。公司产品线覆盖电容金属薄膜真空计、皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关，可对MKS和Inficon产品形成系列化替代，减少用户对单一进口来源的依赖。

服务与交付

迅微纳提供从选型咨询、接口适配到售后维护的全流程支持。产品出厂前经过标定和老化测试，随附测试报告。针对江苏本地用户，公司可安排技术人员对接现场工况，协助完成安装和调试。具体交付周期和定制需求请咨询销售人员确认。

规格参数

• 测量量程:0.1mTorr至1000Torr（以实物为准）
• 传感器类型:电容金属薄膜式
• 工作温度:标准型常温；高温型可达200℃
• 输出信号:模拟电压/电流或数字通信（具体参数请咨询）
• 法兰接口:KF、CF等可选（以实物为准）
• **:CE**，企业通过ISO9001:2015质量管理体系**

联系方式：迅微纳 4008168065

地址：江苏省（具体地址请致电咨询）