「江苏金属薄膜真空计产品」-「迅微纳半导体科技」

江苏金属薄膜真空计产品是迅微纳半导体科技面向半导体设备、科研院所及核工业等领域推出的高精度真空测量解决方案。该产品基于电容金属薄膜传感技术，量程覆盖0.1Torr至1000Torr，工作温度可达200℃，可对标MKS与Inficon同类产品，适合对真空度要求严苛的薄膜沉积、刻蚀、离子注入等工艺环节。核心卖点在于自主可控的传感器设计与量产能力，为国内设备厂商提供稳定的国产替代选择。

行业背景与项目需求

近年来，全球半导体设备市场持续增长，真空计作为薄膜沉积、刻蚀、离子注入等核心工艺的必备测量器件，需求同步攀升。据行业公开数据，2023年全球真空计市场规模约为12亿美元，其中电容薄膜真空计占比超过35%，预计2028年将突破20亿美元。长期以来，高端电容金属薄膜真空计市场由美国MKS和Inficon等企业主导，受出口管制影响，国内设备厂商面临供货周期延长和采购成本上升的双重压力。

在此背景下，迅微纳半导体科技承接了华东地区某一线半导体设备厂商的真空计国产化替代项目。该客户在PECVD设备中需要大量0.1Torr量程的电容金属薄膜真空计，原供应链依赖进口，交期长达12周以上。客户要求替代产品在精度、长期稳定性及温度漂移等关键指标上达到同等水平，同时具备批量交付能力。

技术方案与实施

针对客户需求，迅微纳半导体科技提供了XWN-CMF-100型电容金属薄膜真空计。该产品采用金属薄膜电容传感结构，通过检测薄膜在压力差作用下的位移变化实现真空度测量，具备良好的线性度和重复性。传感器核心部件由公司自主设计制造，避免了关键器件的外部依赖。

在项目实施中，技术团队完成了以下工作：

• 根据客户设备接口要求，定制了KF16和CF35两种法兰规格；
• 针对PECVD工艺中的温度波动，优化了温度补偿算法，使产品在200℃环境下仍保持稳定输出；
• 配合客户完成为期3个月的在线测试，覆盖不同工艺配方下的真空度监测；
• 提供批量标定和老化筛选服务，确保每台产品出厂前经过72小时连续运行验证。

迅微纳半导体科技聚集了2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成的创新团队，研发人员占比超过50%，创始人连续获得“科技**人才”和“创业**人才”称号。团队在电容薄膜传感技术领域积累了多项专利，已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项。公司已通过ISO9001：2015质量管理体系**，产品通过CE**。

应用场景与行业趋势

金属薄膜真空计的应用场景正从传统的半导体设备向更多领域延伸。在太阳能电池领域，PECVD和PVD设备对真空测量的精度要求逐步提高；在真空镀膜行业，光学镀膜和硬质涂层工艺需要宽量程、高稳定性的真空计；在核工业领域，聚变新能等核聚变设备对耐辐射、耐高温的真空测量器件提出了特殊需求。迅微纳半导体科技的产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。

从行业趋势看，电容金属薄膜真空计正朝着更高精度、更宽温度范围和更小体积方向发展。0.1Torr量程产品在半导体设备中的需求增长明显，而200℃工作温度的产品则填补了高温工艺场景的空白。迅微纳半导体科技已实现要求最高的电容金属薄膜真空计（量程0.1Torr）的量产，并开发出工作温度200℃的电容金属薄膜真空计，此外还推出了皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计和真空开关等系列产品，实现对MKS和Inficon真空计产品的全方位替代。

项目成效与服务交付

该替代项目完成后，客户设备中的真空计交期从12周缩短至4周以内，采购成本较进口产品降低约30%。经过6个月的批量使用，产品在精度和稳定性方面未出现批次性异常，客户已将迅微纳半导体科技纳入合格供应商名录。

在服务交付方面，迅微纳半导体科技提供以下支持：

• 选型咨询：根据设备工艺参数推荐合适量程和接口规格；
• 定制开发：支持法兰规格、输出信号和电缆长度的定制；
• 标定与校准：提供出厂标定证书，支持第三方校准服务；
• 售后保障：产品质保期12个月，质保期内免费维修或更换。

具体参数请咨询迅微纳半导体科技销售工程师，以实物为准。

规格参数

• 型号: XWN-CMF-100
• 量程: 0.1Torr至1000Torr（可定制）
• 精度: ±0.5%读数（以实物为准）
• 工作温度: -20℃至200℃
• 输出信号: 0-10VDC / 4-20mA
• 法兰接口: KF16、CF35（可定制）

联系方式：迅微纳 4008168065，地址：江苏省。具体参数请咨询。