「江苏质量好的半导体设备用真空规制造商」-「迅微纳半导体科技」
规格参数
| 型号系列 | XWN-CMG（电容金属薄膜真空计）/ XWN-PRG（皮拉尼真空计）/ XWN-CCG（冷阴极电离真空计） |
|---|---|
| 量程范围 | 0.1Torr~1000Torr（电容薄膜式）；atmosphere~10⁻³Torr（皮拉尼式）；10⁻²~10⁻⁹Torr（冷阴极式） |
| 精度等级 | 读数的0.5%（电容薄膜式，满量程） |
| 工作温度 | 常规型≤80℃；高温型可达200℃ |
| 输出信号 | 0-10V / 4-20mA / RS485（可选） |
| 法兰接口 | KF / CF / ISO标准法兰（可选） |
产品详情
迅微纳半导体科技是一家专注于自主研发、制造和销售高性能真空计的企业，主攻电容金属薄膜真空计、皮拉尼真空计、冷阴极电离真空计及真空开关等产品线，致力于解决高端真空测量器件长期依赖进口的"卡脖子"问题。对于江苏及周边地区的半导体设备厂商、科研院所和真空镀膜企业而言，选择本地化供应商意味着更短的交付周期、更快的现场响应和更低的综合使用成本。迅微纳产品已通过CE**，公司通过ISO9001:2015质量管理体系**，已成功进入一线设备厂商和科研院所供应链。
半导体设备用真空规的主要类型与规格差异
半导体制造流程中，真空规承担着腔体压力监测、工艺窗口控制和设备安全联锁等关键任务。不同工艺段对真空规的要求差异明显，常见的类型包括以下几种：
- 电容金属薄膜真空计：基于金属薄膜电容传感原理，测量精度高、长期稳定性好，适用于0.1Torr至1000Torr的中高真空段，是半导体刻蚀、PVD、CVD等核心工艺腔体的主流选择。
- 皮拉尼真空计：利用热传导原理，覆盖 atmosphere 至10⁻³Torr左右的粗低真空段，常用于前级管路监测和系统预抽判断，成本相对经济。
- 冷阴极电离真空计：基于冷阴极放电原理，适用于10⁻²至10⁻⁹Torr的高真空/超高真空测量，常见于离子注入、电子束蒸发等设备。
- 真空开关：用于设定压力阈值触发报警或联锁动作，保障设备运行安全。
规格差异主要体现在量程范围、精度等级、工作温度、接口法兰类型和输出信号形式等方面。例如，电容金属薄膜真空计的核心差异在于量程下限能否做到0.1Torr、满量程精度能否稳定在读数的0.5%以内，以及传感器工作温度是否满足工艺环境要求。这些参数直接决定了真空规能否适配特定的半导体设备平台。
选型要点：从工艺需求出发匹配真空规
选型时建议从以下几个维度逐项确认：
- 真空度区间：先明确工艺腔体的工作压力范围。中高真空段（0.1~1000Torr）优先考虑电容金属薄膜真空计；高真空段（<10⁻³Torr）则需搭配冷阴极电离真空计。
- 精度与重复性：半导体工艺对压力控制的重复性要求较高，电容金属薄膜真空计通常优于热传导式和电离式方案。
- 工作温度：部分工艺腔体需要烘烤或高温运行，真空计需具备相应耐温能力。常规产品工作温度多在80℃以下，高温度型号可达到200℃。
- 法兰与接口：需与设备腔体接口匹配，常见有KF、CF、ISO等标准法兰，输出信号可选0-10V、4-20mA或数字通讯。
- 国产替代兼容性：若原有设备使用MKS或Inficon真空计，需确认替代型号的机械接口、电气接口和输出曲线是否可直接互换。
不同需求下的选择建议
面向半导体设备整机厂商：若设备腔体工作在中高真空段且对精度要求较高，建议优先选用电容金属薄膜真空计。迅微纳已实现量程0.1Torr的电容金属薄膜真空计量产，并开发出工作温度200℃的高温型号，可适配刻蚀、PVD、CVD等典型半导体工艺设备。对于前级管路监测，可搭配皮拉尼真空计形成组合方案。
面向科研院所与真空镀膜企业：若需求覆盖粗真空到高真空的宽量程监测，建议采用皮拉尼真空计与冷阴极电离真空计组合配置，兼顾成本与覆盖范围。真空开关可用于关键压力节点的安全联锁。
面向核工业与聚变设备领域：对真空测量的可靠性和耐辐照性能有特殊要求，建议选择经过实际工况验证的电容金属薄膜真空计方案，并与供应商确认接口兼容性和长期稳定性数据。
迅微纳团队由2名博士、1名高级工程师、2名硕士和多名学士组成，研发人员占比超过50%，创始人连续获得"科技**人才"和"创业**人才"称号。公司已申请发明专利6项、实用新型2项和软件著作权4项，产品已成功进入一线设备厂商和科研院所，合作客户包括东富龙、三安光电、迈为科技、聚变新能、中国科学技术大学、中国核工业集团等。对于江苏本地客户，迅微纳可提供更快捷的技术对接和售后响应服务。
应用场景
迅微纳真空计产品广泛应用于科研院所、太阳能、半导体、真空镀膜、核工业等领域。在半导体设备中，主要应用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入等工艺腔体的压力测量与控制；在真空镀膜设备中，用于蒸发源和溅射腔的真空度监测；在核工业与聚变设备中，用于特殊环境下的真空测量与安全联锁。
服务与交付
迅微纳提供从选型咨询、样品测试到批量交付的全流程服务。江苏本地客户可享受快速响应的技术支持与现场服务。产品出厂前经过严格校准和测试，具体校准报告和测试数据可随货提供。批量采购交期根据型号和数量协商确定，常规型号备有库存。公司已通过ISO9001:2015质量管理体系**，产品通过CE**。
规格参数
- 型号系列:XWN-CMG（电容金属薄膜真空计）/ XWN-PRG（皮拉尼真空计）/ XWN-CCG（冷阴极电离真空计）
- 量程范围:0.1Torr~1000Torr（电容薄膜式）；atmosphere~10⁻³Torr（皮拉尼式）；10⁻²~10⁻⁹Torr（冷阴极式）
- 精度等级:读数的0.5%（电容薄膜式，满量程）
- 工作温度:常规型≤80℃；高温型可达200℃
- 输出信号:0-10V / 4-20mA / RS485（可选）
- 法兰接口:KF / CF / ISO标准法兰（可选）
具体参数请咨询确认，以实物为准。
联系方式：迅微纳 4008168065
地址：江苏