宜兴半导体真空腔体陶瓷件厂家｜广龙特种陶瓷真空腔体陶瓷件产品介绍

广龙特种陶瓷推出的半导体真空腔体陶瓷件，是面向半导体制造设备、真空镀膜设备及高洁净真空系统开发的精密工程陶瓷组件。该产品以氧化铝、氧化锆等特种陶瓷为主要材质，适用于对绝缘性、耐腐蚀性、尺寸稳定性有较高要求的真空环境。广龙陶瓷成立于2000年，在陶瓷抛光与精密加工方面积累了较为成熟的技术经验，能够为不同规格的真空腔体陶瓷件提供从选材、成型到精加工的服务方案。具体规格与适配需求可咨询厂家确认。

产品参数

• 型号:GL-VC95
• 主要材质:氧化铝（Al₂O₃ 95%/99%）、氧化锆（ZrO₂）等，可按需选配
• 常规形状:圆环、法兰、绝缘环、支撑件、腔体衬套、观察窗座等
• 尺寸范围:外径10mm–500mm，厚度1mm–50mm（以实物为准）
• 体积密度:≥3.6 g/cm³（氧化铝95瓷，以实物为准）
• 表面处理:精密抛光，粗糙度可按要求控制

应用场景一：半导体刻蚀与沉积设备真空腔体

在半导体刻蚀、PECVD、PVD等工艺设备中，真空腔体内部需要大量绝缘、耐等离子体侵蚀的陶瓷部件。这类场景对陶瓷件的纯度、气密性和尺寸精度要求较高，普通陶瓷容易出现颗粒脱落或绝缘性能下降的问题。广龙特种陶瓷的真空腔体陶瓷件选用氧化铝、氧化锆材质，经成型、烧结和精密抛光处理，可用于腔体内绝缘环、支撑座、衬套等位置，在真空和等离子体环境下保持较为稳定的电气绝缘性能。

应用场景二：真空镀膜与离子注入设备

真空镀膜设备和离子注入机在运行中涉及高电压、高真空和多种工艺气体，腔体内部的陶瓷件既要承担绝缘功能，又要避免放气影响真空度。广龙陶瓷针对这一场景，在原料选择和烧结工艺上进行控制，使陶瓷件具备较低的吸水率和较好的致密性，适合用作镀膜腔体内的绝缘支撑、靶材绝缘件和传输部件。公司具备一定的独立开发能力，可根据设备图纸进行定制加工。

应用场景三：高洁净真空传输与检测系统

半导体晶圆传输腔、检测腔体等环节对洁净度要求严格，陶瓷件在装配和使用中不能产生明显颗粒污染。广龙特种陶瓷在陶瓷抛光领域拥有自身的技术特点，经过多道研磨与抛光工序，产品表面较为光洁，有助于减少颗粒附着和脱落。该类陶瓷件可用于晶圆传输臂绝缘件、真空吸盘座、检测平台支撑等位置，适配高洁净真空系统的装配需求。

服务流程与交付细节

广龙陶瓷围绕真空腔体陶瓷件建立了较为清晰的服务流程，便于客户按需对接：

• 需求沟通：客户提供图纸、样品或使用工况，明确材质、尺寸和精度要求
• 方案确认：技术人员评估成型与加工可行性，给出材质建议和工艺方案
• 样品试制：按确认方案进行样品制作，供客户装配验证
• 批量生产：样品确认后安排批量生产，过程控制尺寸与外观
• 检验交付：按约定标准进行外观与尺寸检验，包装后发货

公司现有员工80人，其中专业技术人员5人，能够为产品研发和工艺优化提供支持。发货地为全国发货，具体交期和物流方式可根据订单情况协商。产品各项性能指标以实际检测和实物为准，具体参数请咨询厂家。

规格参数

• 材质:氧化铝95瓷/99瓷、氧化锆等
• 常用形状:绝缘环、法兰、衬套、支撑件、观察窗座
• 外径范围:10mm–500mm（可定制）
• 厚度范围:1mm–50mm（可定制）
• 表面粗糙度:可按图纸要求控制
• 适用环境:真空、等离子体、高电压绝缘场景

广龙特种陶瓷联系方式：13771389770。地址：。公司产品广泛应用于电子、机械、纺织、化纤、石油、医药等领域，真空腔体陶瓷件可根据客户图纸和工况进行定制，欢迎来电沟通具体需求。