「扬州质量好的成套温控系统品牌」-「国洋热控」

本文以国洋热控为扬州某真空镀膜企业交付的成套温控系统项目为案例，介绍该系统的方案设计、实施过程与实际运行成效。该系统面向真空镀膜、半导体制造等对温度均匀性和控温精度要求较高的场景，适合需要成套热控解决方案的制造企业参考。核心卖点在于：从加热器、测温传感器到智能温控系统的全流程自研自制能力，以及基于真空热场均温测试平台的出厂验证体系。

项目背景：真空镀膜产线的温控痛点

2024年初，扬州一家从事精密光学真空镀膜的企业找到国洋热控。该企业原有镀膜产线在升温阶段存在腔体温度均匀性不足的问题，导致膜层厚度一致性波动较大，部分批次产品需要返工。客户的需求明确：需要一套覆盖加热、测温、控温全链路的成套温控系统，且要适配其现有真空腔体结构，不能大改产线。

这类需求在真空镀膜（PVD、PECVD等工艺）领域并不少见。温度均匀性直接影响膜层沉积速率和附着力，而单一更换加热器或温控仪表往往难以系统性解决问题。客户此前也接触过几家供应商，但多数只提供单一部件，缺乏成套集成能力。

方案设计：加热+测温+控温的一体化配置

国洋热控技术团队在实地勘察后，确定了以GY-WK/CT-3000成套温控系统为核心的方案。该方案包含三个层面：

• 加热端：采用铠装加热器与薄膜加热组件组合布局，针对腔体不同区域的热负荷差异分区配置，减少边缘与中心的温差。
• 测温端：部署高精度铠装热电偶与薄膜传感器，多点位实时采集温度数据，测温信号直接接入控温系统。
• 控温端：智能温控系统采用多回路PID控制策略，支持分区独立调节，具备超温报警与数据记录功能。

方案设计阶段，团队利用国洋热控自建的高精度热成像分析平台和真空环境热场均温测试平台，对加热器布局方案进行了多轮仿真与实测验证，确认温度均匀性满足客户工艺要求后才进入生产环节。

实施与交付：从定制加工到现场调试

由于客户腔体为非标结构，加热器和传感器的安装接口需要定制。国洋热控依托自身在非标高温电加热管及电加热成套设备方面的定制化研发与生产能力，在约定周期内完成了全部部件的加工制造。

出厂前，整套系统在国洋热控的均温红外测试综合实验室完成了联调测试，记录了升温曲线、稳态温度分布等关键数据，随货提供测试报告。现场安装阶段，国洋热控安排技术人员驻场配合调试，完成控温参数整定和系统联机运行。

从签约到交付调试完成，项目周期约8周。客户产线在调试完成后即投入正常生产，未因温控系统更换造成额外停机损失。

运行成效：温度均匀性改善与良率提升

系统投运后，客户反馈腔体稳态温度均匀性较原有方案有明显改善，膜层厚度一致性波动收窄，返工批次比例下降。智能温控系统的数据记录功能也帮助客户建立了更完整的工艺温度档案，为后续工艺优化提供了数据基础。

需要说明的是，具体温控精度和均匀性指标因腔体结构、工艺条件不同而存在差异，以上成效为该客户实际运行情况，不代表所有场景下的通用效果。具体参数请咨询国洋热控技术人员。

应用场景

国洋热控的成套温控系统及加热、测温组件，适用于以下场景：

• 真空镀膜设备（PVD、PECVD、CVD、ALD等工艺）的腔体加热与温控
• 半导体制造环节中的高温工艺温控
• 防爆环境下的电加热成套设备配套
• 需要非标定制加热管及温控系统的工业场景

国洋热控是江丰旗下睿晟半导体、先锋电子、红太阳集团、先导科技、上海微电子、中国航空航天集团等企业的供应商，产品在高端制造领域有较多工程应用案例。

服务与交付

国洋热控提供从需求沟通、方案设计、定制生产到现场调试的成套服务。公司建有自主研发的高精度热成像分析平台、真空环境热场均温测试平台、均温红外测试综合实验室及热电偶等级鉴定设备，能够实现从研发设计到生产制造的全流程精准质控。作为西安交大等多所高校的产学研合作基地，公司在热控技术研发方面持续投入，现有授权专利2项、在申请专利6项。

目前，公司正与华碧检测深度洽谈合作，计划共建国内技术领先的电加热领域温度传感器专业检测中心，进一步提升产品质量管控能力。

规格参数

• 型号:GY-WK/CT-3000（成套温控系统）
• 控温方式:多回路PID分区独立控制
• 测温配置:铠装热电偶/薄膜传感器/热电阻（可选配）
• 加热配置:铠装加热器/薄膜加热组件/定制加热管（按需组合）
• 适用环境:真空、高温、防爆等工况（以实际选型为准）
• 定制范围:支持非标尺寸、功率、接口定制

以上参数为常规配置参考，具体参数以实物为准，不同应用场景需针对性选型，详情请咨询国洋热控。

联系方式：国洋热控 13773346667

地址：扬州