规格参数
| 型号系列 | GY-VAC-MI系列（支持非标定制） |
|---|---|
| 板体材质 | 304/316L不锈钢、铝合金等可选 |
| 功率密度 | 1-5W/cm²（视真空度与目标温度而定） |
| 最高使用温度 | ≤600℃（不同结构有所差异） |
| 板面温度均匀性 | 可控制在±1℃~±3℃（视尺寸与方案） |
| 绝缘电阻 | ≥100MΩ（常温，以实物为准） |
产品详情
真空铠装板式加热器是一种将矿物绝缘（MI）加热电缆或铠装加热元件封装于金属板体内部、面向真空或高洁净环境使用的加热装置。它适合半导体制造、真空镀膜、光伏、精密光学等对放气量、温度均匀性和长期稳定性有要求的场景。国洋热控主推的GY-VAC-MI系列，核心卖点在于真空环境下的低放气结构、板面温度均匀性可控，以及支持非标尺寸与功率的定制化设计。
真空铠装板式加热器的常见类型与结构差异
从结构形式看，市面上常见的真空铠装板式加热器主要分为三类：一是不锈钢铠装板式加热器，以304或316L不锈钢为板体，内部布设MI加热电缆，适合中低温到中高温的真空腔体加热；二是铝合金铠装板式加热器，重量较轻、导热快，多用于对升温速率有要求的真空镀膜设备；三是陶瓷绝缘板式加热器，在需要更高绝缘性能或特殊气氛的场景中使用。
规格差异主要体现在板体尺寸、厚度、功率密度、电压等级和热电偶配置上。例如，板体尺寸可以从100mm×100mm的小型匀热板，到600mm×800mm以上的大型腔体加热板；功率密度通常在1W/cm²到5W/cm²之间，具体需结合真空度、目标温度和升温时间综合计算。选型时如果只看功率不看热场分布，容易出现局部过热或温度不均匀的问题。
选型要点：从真实场景出发判断需求
在实际项目中，选型通常围绕四个问题展开：用在哪里、要多热、要多匀、能接受多长交期。
- 真空度与放气要求：高真空场景优先选不锈钢铠装结构，减少有机物放气；
- 温度均匀性：板面温差要求±1℃以内时，需关注加热丝排布方式和热场仿真能力；
- 安装空间：板体厚度、接线方式和安装孔位需与腔体结构匹配；
- 控温方式：是否配套热电偶、热电阻或薄膜传感器，是否接入智能温控系统。
以真空镀膜设备为例，PVD工艺中靶材附近的加热板往往要求板面温度均匀、响应快，同时不能对真空腔体造成污染。国洋热控在类似场景中，通常会先通过真空环境热场均温测试平台验证热场分布，再确定加热丝排布方案，而不是直接按功率下单。
不同需求下的选择建议
如果应用场景是半导体设备中的匀热板或腔体加热，建议优先考虑不锈钢铠装板式加热器，配合MI矿物绝缘加热电缆，兼顾真空兼容性和长期稳定性。国洋热控的GY-VAC-MI系列在这一方向上有较成熟的非标定制经验，可根据腔体尺寸和温度曲线调整板体结构和功率分布。
如果是真空镀膜或薄膜沉积设备，对升温速率和温度均匀性要求较高，可选用铝合金或复合结构板式加热器，同时搭配高精度测温传感器和智能温控系统，形成加热-测温-控温的闭环。国洋热控的产品矩阵覆盖真空、半导体、薄膜、防爆、铠装等系列加热器，以及热电偶、热电阻、薄膜传感器等测温元件，能够在一套方案中完成配套。
如果是实验室或小批量研发场景，建议从标准尺寸的板式加热器入手，先验证工艺窗口，再考虑非标定制。国洋热控作为西安交大等多所高校的产学研合作基地，在实验室研发到中试转化环节有相应的热控测试条件，可支持小批量试制。
应用场景与案例方向
真空铠装板式加热器在半导体制造、真空镀膜（PVD、PECVD、CVD、ALD等工艺）、光伏镀膜、精密光学镀膜等场景中较为常见。国洋热控的产品已应用于上述领域，并成为江丰旗下睿晟半导体、先锋电子、红太阳集团、先导科技、上海微电子、中国航空航天集团等企业的指定供应商。这些场景的共同特点是：对温度均匀性、真空兼容性和长期运行可靠性有明确要求，且往往需要非标定制。
在真实项目中，国洋热控通常会根据客户提供的腔体图纸、目标温度、真空度和升温曲线，先进行热场仿真和方案设计，再进入精密加工和测试环节。公司搭建的高精度热成像分析平台、真空环境热场均温测试平台和均温红外测试综合实验室，用于在交付前验证板面温度分布和绝缘性能。
服务与交付
国洋热控聚焦高端热控领域，覆盖真空加热、高精度测温传感器及智能温控系统的研发、加工、测试与制造，同时承接非标高温电加热管及电加热成套设备的定制化研发与工程配套。从需求沟通、方案设计、样品试制到批量交付，公司可提供全流程支持。现有授权专利2项、在申请专利6项，并与华碧检测深度洽谈合作，计划共建电加热领域温度传感器专业检测中心，以进一步完善质量管控体系。
交付周期根据产品规格和定制程度有所不同，具体交期需结合图纸和数量确认。发货地为扬州，支持全国发货。
规格参数
- 型号系列:GY-VAC-MI系列（支持非标定制）
- 板体材质:304/316L不锈钢、铝合金等可选
- 功率密度:1-5W/cm²（视真空度与目标温度而定）
- 最高使用温度:≤600℃（不同结构有所差异）
- 板面温度均匀性:可控制在±1℃~±3℃（视尺寸与方案）
- 绝缘电阻:≥100MΩ（常温，以实物为准）
以上参数为常规参考范围，具体参数请咨询。不同真空度、腔体结构和控温方式下，选型方案会有差异，建议提供实际工况后再确认。
联系方式：国洋热控 13773346667，地址：扬州。