规格参数
| 型号 | GD-VUV-172 |
|---|---|
| 主波长 | 172nm（以实物为准） |
| 光源结构 | 介质阻挡放电式准分子灯 |
| 窗口材质 | 氟化镁/氟化钙可选 |
| 安装接口 | CF/KF法兰，可定制 |
| 冷却方式 | 风冷/水冷可选 |
产品详情
本文以国达特殊光源为上海某高校光学实验室提供的真空紫外准分子灯光源项目为主线，介绍该类光源在微纳加工与表面改性场景中的选型、集成与交付过程。适合需要172nm波段准分子光源的科研院所、精密器件制造企业及半导体相关单位参考。核心卖点在于国达特殊光源具备从放电管研发到应用集成、工程安装的综合服务能力，可根据客户工艺需求提供定制化光源方案。
项目背景：上海某光学实验室的深紫外光源需求
2023年，上海某高校光学实验室计划搭建一套用于材料表面改性与光化学研究的真空紫外实验平台。该平台需要在可控气氛或真空环境下，对聚合物、氧化物薄膜等样品进行172nm波段的准分子紫外辐照。实验室此前使用过其他类型的低压汞灯，但在短波段辐照强度、光源稳定性以及与真空腔体的适配性方面存在不足，因此希望寻找一家具备真空紫外准分子灯光源定制能力的供应商。
客户的核心需求包括：光源波长以172nm为主，输出窗口需适配高真空法兰接口；光源在连续工作条件下具备稳定的辐照输出；配套电源与控制系统需支持功率调节和运行状态监测；同时，供应商需提供安装调试及后续技术支持。
需求对接与方案设计
国达特殊光源在接到咨询后，安排技术人员与实验室负责人进行了多轮沟通，明确了腔体尺寸、法兰规格、工作气压范围、预期辐照距离等关键参数。基于这些信息，公司推荐了GD-VUV-172型真空紫外准分子灯光源方案。
该方案采用介质阻挡放电结构，以氙气为主要工作气体，在特定气压与电场条件下产生172nm为中心的窄带紫外辐射。光源主体设计为可法兰安装结构，发光窗口选用适合真空紫外透过的材料，整体可集成到客户已有的真空腔体或手套箱系统中。
- 光源类型：介质阻挡放电式准分子灯
- 主波长：172nm（以实物为准）
- 窗口材质：可选氟化镁或氟化钙窗口
- 安装方式：CF法兰或KF法兰接口，可按客户腔体定制
- 冷却方式：风冷或水冷可选
- 电源配置：配套高频驱动电源，支持功率调节
实施与交付：从光源制造到系统联调
方案确认后，国达特殊光源按照项目节点推进。首先完成光源本体的制造与老化测试，确保放电稳定性和窗口密封性。随后，配套电源与控制系统进行联机调试，验证功率调节范围和运行保护功能。
在交付阶段，公司技术人员前往客户现场，协助完成光源与真空腔体的对接安装，并进行实际辐照条件下的参数标定。调试过程中，针对客户关注的辐照均匀性和长时间运行稳定性，技术人员进行了多组对比测试，记录了不同功率下的输出表现，并将操作要点和日常维护建议整理成文档移交给实验室人员。
项目从方案确认到现场调试完成，历时约六周。客户对光源与腔体的适配效果以及国达在安装调试环节的配合度给予了认可。该平台后续已投入日常实验使用。
应用场景：真空紫外准分子灯光源的典型用途
172nm真空紫外准分子灯光源因其光子能量高、穿透深度浅的特点，在多个领域有实际应用价值。国达特殊光源的该类产品目前主要服务于以下场景：
- 微电子与半导体：光刻前表面处理、光刻胶改性、晶圆清洗
- 精密器件：聚合物表面亲水化改性、界面附着力提升
- 光学与理化学：真空紫外光谱实验、光化学反应激发
- 材料研究：薄膜沉积前清洗、有机污染物去除
- 生物与医学：表面消毒、生物分子改性研究
不同应用对光源的波长、功率密度、工作气氛和安装方式要求差异较大，国达特殊光源可根据具体工艺条件进行选型或定制。
服务与交付：国达特殊光源的项目支持流程
国达特殊光源成立于2001年，是综合生产多种紫外线光源及设备的专业厂家，具备光源研发、生产、应用集成、工程设计及工程施工的综合能力。公司已通过ISO9001∶2000国际质量管理体系**，注重产研投入，已申请多项专利，在核心部光源制造方面具有独创性。
针对真空紫外准分子灯光源类项目，公司通常按以下流程提供服务：
- 需求沟通：了解客户使用场景、腔体条件、波长与功率要求
- 方案建议：提供光源选型、接口设计、电源配套等建议
- 样品或整机测试：可根据情况安排测试验证
- 生产制造：按确认方案进行光源及配套系统制造
- 现场安装调试：技术人员上门协助安装与参数标定
- 售后支持：提供操作培训、维护建议及后续技术咨询
目前公司产品应用客户包括京东方科技、中科院化学研究所、昆山维信诺、苹果供应商（保利马科技）、上海交通大学等，涉及微电子、精密器件、化工、医学、生物、食品、环境、农业、光学、理化学、印刷、汽车等广泛领域。
规格参数
- 型号：GD-VUV-172
- 主波长：172nm（以实物为准）
- 光源结构：介质阻挡放电式准分子灯
- 窗口材质：氟化镁/氟化钙可选
- 安装接口：CF/KF法兰，可定制
- 冷却方式：风冷/水冷可选
具体参数请咨询国达特殊光源技术人员，以实际需求确认方案为准。
联系方式：国达 18918769498
地址：上海