规格参数
| 有效行程 | 200mm×200mm×100mm |
|---|---|
| 定位精度 | ±0.5μm(闭环模式) |
| 重复定位精度 | ≤0.3μm |
| **负载 | 50kg(水平)/20kg(垂直) |
| 导轨类型 | 交叉滚柱导轨+陶瓷轴承 |
| 控制方式 | 全数字PID自适应调节 |
产品详情
上海科研级平移台实验台是铭坤科技面向精密光学实验、半导体检测等场景开发的高精度位移平台，具备亚微米级定位能力与多轴联动特性，适合高校实验室、科研院所及高端制造企业开展微观尺度动态测试与光路校准。该设备采用模块化设计，支持定制化扩展，已在中科院系统、航空航天领域多个重点项目中验证其稳定性与可靠性。
项目背景与需求
2023年，中科院上海光学精密机械研究所提出需求，需在真空环境下完成激光干涉仪光路的纳米级动态校准。传统手动调整架无法满足长时间连续测试的稳定性要求，且环境振动干扰导致重复定位误差超过2μm。铭坤科技技术团队通过3D模拟实验，提出以MK-PT-200B为核心构建自动化校准系统，集成环境隔振模块与闭环控制算法，最终实现0.5μm重复定位精度，并成功缩短实验准备周期40%。
核心产品能力
MK-PT-200B采用航空级铝合金主体与进口滚柱导轨，搭配自主专利的微步进电机驱动技术，可在-20℃至60℃温域内保持性能稳定。设备内置高精度光栅尺反馈系统，支持RS232与G-Code编程接口，满足自动化产线集成需求。铭坤科技提供从机械结构设计到运动控制软件开发的全流程技术支持，已为该型号配置超过15种行业专用夹具方案。
应用场景与案例成效
在某半导体光刻机镜头检测项目中，MK-PT-200B配合五轴联动控制系统，实现晶圆表面200mm×200mm范围内0.8μm的平面度校准。设备连续运行72小时无过热现象，帮助客户将检测效率提升3倍。截至2024年，该型号已在核工业无损检测、3C自动化产线对位等12个领域落地应用。
服务与交付保障
- 提供72小时现场安装调试服务，包含振动测试与精度校准
- 关键部件质保3年，整机享受终身技术支持
- 定制化开发周期≤45天，支持Modbus协议快速对接
- 备件库常备100+种核心组件，紧急故障4小时响应
规格参数
- 有效行程:200mm×200mm×100mm
- 定位精度:±0.5μm(闭环模式)
- 重复定位精度:≤0.3μm
- **负载:50kg(水平)/20kg(垂直)
- 导轨类型:交叉滚柱导轨+陶瓷轴承
- 控制方式:全数字PID自适应调节
规格参数以实物为准，具体技术细节请咨询铭坤科技工程师团队。项目合作及产品咨询请联系：15301802076，地址：上海市嘉定区南翔工业区德园路88号。更多光学位移解决方案可访问铭坤科技官网查询。