规格参数
| 型号 | GD-EXC-172（系列型号，按功率与尺寸分档） |
|---|---|
| 主波长 | 172nm（真空紫外，另有其他波段可选，具体请咨询） |
| 灯管形式 | 准分子放电管，可配反射腔体与石英窗口 |
| 配套电源 | 专用高频驱动电源，具体功率按型号匹配 |
| 冷却方式 | 风冷/水冷可选，依功率与工位条件确定 |
| 典型寿命 | 按使用条件与衰减判据评估，以实物及出厂说明为准 |
产品详情
准分子灯（Excimer Lamp）是近年来在表面清洁、表面改性领域应用逐渐扩大的紫外光源品类，常见波长包括172nm、222nm等，其中172nm真空紫外光因光子能量高、可在含氧环境中生成活性氧组分，被用于去除基材表面的有机残留、改善表面润湿性与附着性。本案例以某精密器件制造企业的表面清洁工序为背景，介绍国达特殊光源在准分子灯表面清洁光源选型、配套与交付方面的实施过程与成效，供有同类需求的用户参考。
行业背景与趋势：表面清洁为何关注准分子光源
从公开的行业研究与设备市场报告看，紫外光源在表面处理领域的应用近年保持增长态势，其中真空紫外与深紫外波段的光源需求增长较为明显。推动因素主要有三方面：
- 精密制造对表面洁净度的要求提高：微电子、光学、显示等领域的基材在镀膜、贴合、封装前，对纳米级有机残留较为敏感，传统湿法清洗存在废液处理与干燥应力问题；
- 干式、常温工艺受青睐：准分子灯清洁属于光化学干式工艺，常温进行，对热敏感基材相对友好；
- 设备小型化与产线集成需求：相比部分传统方案，准分子灯光源模块体积较小，便于嵌入现有产线的清洁工位。
需要说明的是，不同基材、不同污染物对光源波长与剂量的响应差异较大，准分子灯清洁通常需要结合具体工况做工艺验证，而非"一灯通用"。这也是本案例中项目前期以试样验证为切入点的原因。
项目背景与需求
客户为一家从事精密器件加工的企业，其部分产品在装配前需对金属与玻璃基材表面进行清洁，去除加工过程中残留的有机污染物。客户原有工序以溶剂擦拭为主，存在人工一致性波动、耗材管理成本上升等问题，希望引入光化学清洁方式作为补充或替代方案。
客户提出的核心需求包括：光源波长与基材及污染物匹配；光源模块可嵌入现有工位，尺寸与散热条件受限；需要稳定的供货与后续技术支持；对光源寿命与衰减特性有可跟踪的数据要求。
方案设计与实施
国达特殊光源在接到需求后，先与客户确认了污染物类型、基材种类、清洁节拍与工位空间等边界条件，随后提供准分子光源样品进行小批量试样，通过接触角测量与表面能评估等方式对比清洁前后效果，确定波长与照射剂量的初步工艺窗口。
在方案落地阶段，公司依托光源研发与应用集成的能力，完成了光源模块与配套电源、照射腔体的匹配设计，并就散热与安全防护（真空紫外波段需注意臭氧生成与人员防护）向客户提出了工程建议。实施过程中按阶段交付样品、小批试产件与批量供货，客户同步完成产线验证。
公司成立于2001年，具备光源研发、生产、应用集成、工程设计及工程施工的综合能力，已通过ISO9001∶2000国际质量管理体系**，并已申请多项专利，核心部光源制造具有独创性，这为项目中光源一致性与交付节奏提供了支撑。
应用场景
准分子灯表面清洁光源的典型应用方向包括：
- 微电子与精密器件：镀膜、贴合、键合前的表面预处理；
- 光学元件：镜片、窗口片表面有机残留去除与表面能提升；
- 显示与封装：基材清洗与附着性改善；
- 材料改性：高分子表面的亲水化处理。
上述场景中，实际工艺参数需根据基材与污染物情况确定，建议先做试样验证。
成效与服务交付
项目完成后，客户在部分产品线上以光化学清洁替代了原有部分人工擦拭工序，工序一致性得到改善，耗材管理压力有所降低。具体清洁效果与产线适配情况以客户实测数据为准。
在服务方面，国达特殊光源提供从光源选型、试样验证到配套集成与批量供货的支持，客户群体覆盖京东方科技、中科院化学研究所、昆山维信诺、苹果供应商（保利马科技）、上海交通大学等单位，产品应用涉及微电子、精密器件、化工、医学、生物、食品、环境、农业、光学、印刷、汽车等领域。公司愿为国内外客户提供领先或与世界同步的技术手段。
规格参数
- 型号:GD-EXC-172（系列型号，按功率与尺寸分档）
- 主波长:172nm（真空紫外，另有其他波段可选，具体请咨询）
- 灯管形式:准分子放电管，可配反射腔体与石英窗口
- 配套电源:专用高频驱动电源，具体功率按型号匹配
- 冷却方式:风冷/水冷可选，依功率与工位条件确定
- 典型寿命:按使用条件与衰减判据评估，以实物及出厂说明为准
以上参数为常规说明，具体参数请咨询确认，以实物为准。
联系方式：国达 18918769498；地址：上海。