规格参数
| 型号 | GY-TCS-300 |
|---|---|
| 控温方式 | PID智能调节,支持多段程序控温 |
| 测温配置 | 热电偶/热电阻/薄膜传感器可选 |
| 适配加热器 | 真空、铠装、薄膜、防爆系列加热器 |
| 通信接口 | 支持RS485等常用工业接口(可选配) |
| 定制范围 | 按腔体尺寸与工艺曲线非标定制 |
产品详情
国洋热控智能温控系统(GY-TCS-300系列)是面向真空加热、半导体制造、真空镀膜等高端工艺场景的一体化温度控制产品,集高精度测温、稳定控温与成套设备配套于一体,适合对温度均匀性和长期运行稳定性有要求的生产企业。产品以合理的投入成本覆盖研发、中试到量产多个阶段,兼顾短期采购性价比与长期使用价值。
场景一:半导体制造中的精密温控需求
半导体工艺对温度波动较为敏感,晶圆加热、腔体控温等环节一旦出现偏差,容易影响工艺一致性。这一场景的核心需求是控温精度稳定、测温响应及时、长期运行漂移小。
国洋热控将高精度测温传感器(热电偶、热电阻、薄膜传感器)与智能温控系统配套使用,形成测温与控温的闭环方案。公司建有高精度热成像分析平台和真空环境热场均温测试平台,可在交付前对热场均匀性进行验证,帮助用户减少因温度不均带来的工艺波动。从长期价值看,稳定的控温表现有助于降低批次波动和设备调试频次。
场景二:真空镀膜工艺的均匀加热
PVD、PECVD、CVD、ALD等真空镀膜工艺中,基片温度直接影响膜层附着力与致密性,需求集中在真空环境下加热器可靠、热场均匀、升温曲线可控。
国洋热控的真空系列加热器与铠装加热器可适配此类真空腔体场景,配合智能温控系统实现分段升温与恒温保持。公司在真空加热、薄膜加热组件方面具备全流程研发与制造能力,可根据腔体尺寸和工艺曲线进行非标定制。对于需要多工艺切换的产线,一套温控系统配合可调参数设置,能够覆盖多种镀膜工艺,摊薄单次工艺的设备投入。
场景三:工业加热成套设备的配套
高温工业炉、防爆环境加热等场景,往往需要电加热管与非标电加热成套设备整体配套,需求是加热功率匹配、绝缘与防爆等级合规、系统集成度高。
国洋热控覆盖高温工业、真空、防爆、铠装等定制化加热管及电加热成套设备,可依据现场工况完成选型与工程配套。成套交付减少了用户自行拼配加热器与温控器的沟通成本,也便于后期统一维护。对于连续生产工况,模块化的成套设计有利于局部更换,降低长期运维开支。
场景四:检测与实验室温控
高校实验室、检测机构在材料测试、传感器标定等环节,需要可复现的温度环境,需求是控温曲线可记录、温度点可标定。
国洋热控作为西安交大等多所高校的产学研合作基地,具备热电偶等级鉴定设备与均温红外测试综合实验室,其温控产品可用于实验室加热与测温标定场景。公司目前正与华碧检测洽谈共建电加热领域温度传感器专业检测中心,这类检测资源的积累,也为用户在传感器选型和长期校准方面提供支持。
性价比与长期价值
- 测温与控温一体化配套,减少多供应商拼配带来的兼容成本
- 支持非标定制,按工艺需求配置,避免为冗余功能付费
- 加热器与温控系统同厂配套,后期维护与备件供应更集中
- 依托自主研发测试平台完成出厂验证,降低现场调试时间
国洋热控现有授权专利2项、在申请专利6项,产品应用于半导体制造、真空镀膜等领域,是江丰旗下睿晟半导体、先锋电子、红太阳集团、先导科技、上海微电子、中国航空航天集团等企业的指定供应商。对于预算有限但关注长期运行稳定的用户,按场景选型、按需定制是较为务实的路径。
服务与交付
国洋热控提供从方案选型、非标设计、精密加工到测试交付的全流程服务,产品发货地为扬州,可面向全国发货。具体交付周期与配套方案需结合工况确认,建议在选型阶段提供腔体尺寸、目标温度、升温速率等基础信息,以便匹配加热功率与控温配置。
规格参数
- 型号:GY-TCS-300
- 控温方式:PID智能调节,支持多段程序控温
- 测温配置:热电偶/热电阻/薄膜传感器可选
- 适配加热器:真空、铠装、薄膜、防爆系列加热器
- 通信接口:支持RS485等常用工业接口(可选配)
- 定制范围:按腔体尺寸与工艺曲线非标定制
以上参数以实物为准,具体参数请咨询。联系方式:国洋热控 13773346667,地址:扬州。